電子（zǐ）特氣行業淺析

一、電子特氣：晶圓製造關鍵耗材，國產替代空間廣闊

1、電子特氣是晶圓製造關鍵耗（hào）材，具有高（gāo）壁壘

電子特氣主要應用於半導體領域，消費量（liàng）占（zhàn）比約7成。電子特種（zhǒng）氣體,簡稱電子特氣、Electronic Specialty Gases、ESG，是特種（zhǒng）氣體（tǐ）的重（chóng）要分支，具有高技術、高附加值的特點，是半導體、液晶顯示麵板、光伏、LED等電子工業生產中必不可（kě）少的基（jī）礎和支撐性原材料（liào），被廣泛應用（yòng）於清洗（xǐ）、光刻、刻蝕、摻雜、外延（yán）沉積等工藝中。根據觀研天下，集（jí）成電路所消費的電子特氣占全部電（diàn）子特氣的42%，顯示麵板為37%，光伏為13%，LED為8%。

電子特氣是除矽片外用量最大的晶（jīng）圓（yuán）製造材料，成本占比約14%。晶圓製造（zào）的（de）整套工藝中，需要使（shǐ）用的電子氣體種類多達100種，核心工段涉及的（de）電子特氣種類約40-50種，且經常（cháng）以多元混配氣形式使用。

刻蝕、摻雜環節特（tè）氣用量占比較高。根據成分與用途的（de）不同，可以將電子特氣分為：光刻用氣、刻蝕用氣、摻雜用氣、外延沉積用氣等，其中（zhōng），刻蝕用氣、摻雜用氣用量較多，2021年占比分別為36%和34%，外延沉積（jī）+光刻（kè）+其他用氣累計占比30%。

電子特（tè）種氣體（tǐ）被譽（yù）為半導體產業的“血液”，對（duì）半導體材料性能至關重要。由於特定雜（zá）質超（chāo）標將導致電路功能的嚴重（chóng）缺陷，晶圓製造對電子特氣的純度要求極為嚴格，一般大於（yú）6N。若不（bú）達標，輕則導（dǎo）致下遊相關批次產品質量（liàng）不達標，重則擴散汙染整條生產線。電子特氣的質量衡量指標主要為純度和配（pèi）比精度。

（1）純度：單（dān）組分氣體指標，以N表示（純度百分比中9的個數），特氣最低要求5N以上，核心工段純度要求更高，例如用於沉積成膜的矽烷氣體，純度要求為（wéi）8N及以上；高純度是企業踏入國際主流（liú）晶圓（yuán）廠材料供應商的敲門磚：近（jìn）年來芯片製（zhì）程微縮（32→3nm），電子特氣中的汙染粒子體（tǐ）積也要（yào）縮小11倍以上，才能保持輸出產品的良品率（lǜ）。因（yīn）此（cǐ），“純度內卷”是發展趨勢，特氣純度每提高一個數（shù）量級，都會極大推動半導體器件質（zhì）的飛躍；

（2）配比精度（dù）：多組分氣體指標，衡量混（hún）配（pèi）氣比額的精（jīng）準度，以ppm（10^-6）、ppb（10^-9）、ppt（10^-12)以及百分數來表示；混配氣比純氣毛利率更高（gāo），可達80%，混（hún）配氣一般由（yóu）客戶定製，高精度混配將打開盈利天花（huā）板。

特（tè）種氣體具有較高的技術壁壘、客戶認證壁壘、營銷網絡與服（fú）務壁壘和資質壁壘（lěi）。

特氣主要采用（yòng）瓶裝供氣和槽車供氣。目（mù）前工業氣體的主要供（gòng）氣模式包括液態氣體、管道（dào）氣體、瓶裝氣體。零售（shòu）供氣可選瓶裝供氣和儲槽供氣兩種方式，現場供氣可選現場製氣和管道供氣兩種方式（shì）。基於（yú）電子特氣（qì）超高純度的指標要求，結合其（qí）品類多、批（pī）量小、高頻次的應用特點，電子特氣基本全部采用瓶（píng）裝供氣模式；當氣體需（xū）求量較大時，會（huì）采用長管拖車供應（魚雷車），因此對配送及交付能力要求很高。

2、電子特氣行業集中度高，國產替代空間廣闊

2022年中國電子特氣市（shì）場規模超200億，預計未來仍將保（bǎo）持高速增（zēng）長。近年來全球電子特氣市場規模逐年增長，據TECHCET，預計到2025年全球電子特氣市場規模將達（dá）到60.23億（yì）美元，CAGR為7.3%。我國（guó）正積極承（chéng）接全球第三（sān）次半導體產業轉（zhuǎn）移，下遊市場對電子特種氣體的需求快速提升，據SEMI，2022年中國電子特氣（qì）市（shì）場規模約為220.8億元，同比增長12.77%，未來幾年，由於（yú）先進邏輯（jí）製程及存儲技術（shù）需求增加、顯示市場持續增長、“碳（tàn）中（zhōng）和”及“碳達峰（fēng）”對光（guāng）伏需求的增加，預計電子特氣市場需求將（jiāng）持續保持高速增長（zhǎng）。

中國特氣市（shì）場主要被外資占據，國產替代（dài）空間（jiān）巨大。全球和中國電子特氣（qì）市場（chǎng）均主要被（bèi）海外公司占據，全球氣體主要生產商分（fèn）別為林德集團（tuán）（林（lín）德集（jí）團和（hé）普萊克斯（sī）合並）、液化空氣、空氣化工和日（rì）本酸（suān）素（原名大陽日酸），2021年他們占據全（quán）球電子特氣91%的市（shì）場份額，並且在中（zhōng）國占據主導地位。

國內氣體（tǐ）公司不斷實現技術突破，市場份額有望擴大。中（zhōng）國（guó）電（diàn）子特氣（qì）企業起步晚，工（gōng）藝技術、企業規（guī）模等與國外領先（xiān）企業仍存在（zài）一定差距。國產企業第一梯隊包括華特氣體、金宏氣體、南大光（guāng）電和雅克科技等。與（yǔ）國外氣體（tǐ）公司相比，大部分國內氣體公司的供應產品仍較為單一，用氣級別不高，尤其（qí）在集成電路、顯示麵板、光（guāng）伏能源、光纖光纜等高端領域（yù）。盡管與國際氣體公司相比，國內氣體公司（sī）在資金、技（jì）術、設備等方麵仍有差距，但在（zài）技術不斷突破、國家政策大（dà）力扶持、下遊市（shì）場發展迅速等多重因素影響下，加上國內企業擁有的國際企（qǐ）業（yè）無法比（bǐ）擬的低成本、貼近客（kè）戶、反應靈活等優勢，國內（nèi）氣體企業的競爭（zhēng）力將不斷增強，市場份額有望擴大。

國內企業（yè）快速成長，多種特種氣體已實現（xiàn）國（guó）產替（tì）代，國產化進（jìn）程將加速推進。中國的特種氣體行業經過30年（nián）的發展和沉澱，通過（guò）不斷的經驗（yàn）積累（lèi）和技術進步，業內領先企業已在部分產品上實現突破，達到國際標準，逐步實現進（jìn）口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。

半導體產業鏈自給自足（zú）重要性愈發凸顯，特種氣體國產替代需（xū）求（qiú）不斷提升。半導（dǎo）體是數（shù）字經濟產（chǎn）業轉型、雙循環等國家重大發展戰略的基（jī）礎性、先（xiān）導性產業，我國十四五規劃（huá）對半導體產業（yè）鏈中包括先進製程、高端IC設計（jì）和先進封裝技術、關鍵（jiàn）的半導體設備和材料、第三代半導體等領域各個關鍵卡脖子（zǐ）環節提供重點支持。在當（dāng）前半導體產（chǎn）業環境（jìng）和國際形勢下，國際貿易摩擦、全球性疫情等因素（sù）更是增加了半導體（tǐ）供應鏈的（de）不確定性。2022年8月9日，美國（guó）總統拜登簽署了《2022年芯片和科學法案》，向美國國內半（bàn）導體製造廠商、設備廠商等提供補貼，以增強美國本土半導體製造水平，並限製先進工藝流向中國。因此，在複雜的地緣政治和科技博弈中，半導體產業鏈的區域性自給自足成為趨勢，實現國內半導體全產業鏈自給自足的重要（yào）性愈發凸顯。

相（xiàng）較於進口氣（qì），國產氣具有多項優勢，國產替代是未來趨勢。和進口氣相比，國產氣具有流（liú）程簡單、運輸周期短、運（yùn）輸風險較低、容器周（zhōu）轉頻率更高、運輸成本低、機動性更（gèng）高、售價較低的優勢，因此未來趨勢是國產替代。

二、行業內龍頭公司

1、華特氣體

公（gōng）司是中國特種氣體國產化的先行者，率先打破極大規模集成電路、新型顯示麵板等高端領域氣體材料製約（yuē）的民族氣體廠商。公司（sī）主營業務為特種氣體、普通工業氣體和相關氣體設備與工程業務，其中特氣（qì）業務為主要收入和利潤來源，約占公司總（zǒng）收入的7-8成。公司特種氣體主要麵向集成電路、顯示麵板、光伏新能源、光纖光纜等新興產業，公司在上述領域（yù）實現了包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高純二氧化碳、高純一（yī）氧（yǎng）化碳、高純氨（ān）、高純一氧化氮等眾多產品的進口替代。公司特氣質量國內領先，是國（guó）內唯一一家同時通過ASML和（hé）GIGAPHOTONR認證的公司，公（gōng）司對8寸、12寸集成電路廠商的覆蓋率超90%，解決了長江存儲、中芯（xīn）國際（jì）、華虹（hóng）宏力、 華潤微（wēi）電子、台積電（中國（guó））等客戶多種氣體（tǐ）材料的進口製約，並進（jìn）入了英（yīng）特爾、美光科技、德州儀器、台積電（diàn）、SK海力士、英飛淩、三星、鎧（kǎi）俠等（děng）全球領先的（de）半導體企業供應鏈體係。

2023年上半年，受稀有氣體價格（gé）回落及下遊半導體需求疲軟影響，公司收入和利潤（rùn）有所下滑。預計未來公司主（zhǔ）要增長點將（jiāng）來自（zì）於：1）產能擴張：IPO項目基本建設完成，在建年產15噸乙矽烷項目、年產1764噸半導體材料建設項目、鍺烷擴建項（xiàng）目、江蘇如東電子化學品項目、四川自貢西南總部建設項目將在未來2-3年陸續投產，將進一步（bù）豐富公（gōng）司特（tè）氣品（pǐn）種，擴大產能規模。2）優化產業鏈：公司和邦普合作的氣（qì）體（tǐ）項目使公司實現部分原料氣自供，將進一步優化公司工業氣體業務毛利（lì）率水平；公司從氣體純化上遊延伸布局合成氣（鍺烷、矽烷等），持續提升高毛利產品占比，優化產品結（jié）構。3）若下遊半導體（tǐ）行業需求（qiú）回暖，公司特氣產品需求將得到有效改善。

2、金宏氣體

公司是一家專業從事氣體研發、生產、銷售和服務的環保集約型綜合氣體供應商，主營業務（wù）可分為特種氣體、大宗氣體和燃氣三大類，氣體品（pǐn）種約100 多種，公司主（zhǔ）要產品（pǐn）應用於集成電路、液晶麵板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環保（bǎo）、新材料、新能源、高端裝備製造（zào）、食品、冶金（jīn）、化工、機械製造等眾多領域，其中在電子半導體領域，公司已（yǐ）逐步（bù）實現了超純氨、高純（chún）氧化亞氮、電子級正矽酸乙酯、高（gāo）純二氧化碳等（děng）產品（pǐn）的進口替代。公司已成功量產供應中芯國際、聯芯、積塔、SK海力士（shì）、長江存（cún）儲等公司，台（tái）積電（diàn）、長鑫存儲、三星電子等均在產品測試過程中。未來，公司將繼續堅持縱向開發戰略，加大（dà）特氣新品研發投入，加速新品推出，公司規劃六氟丁二烯、一氟甲烷（wán）、八氟環丁烷、二氯二氫（qīng）矽（guī）、六氯乙矽烷、乙矽（guī）烷及三甲基矽胺等產品產業化。

2023H1公司不斷（duàn）提（tí）升對（duì）集成電路、光伏（fú）等行業用（yòng）戶的綜合服務特氣，特氣業務收入同比增長44.07%，占主營業務收入比重提升至49.21%，公司優（yōu）勢（shì）產品超（chāo）純氨（ān）、高純氧（yǎng）化亞氮等產品（pǐn）已正式供應了中芯（xīn）國際、海力士、鎂光、聯芯集成、積塔、華潤微電子、華力集成等一批知名半導體客戶。

未來公司將充分受益於：

1）新增產能釋放：a. 超純氨：眉山金宏超純氨項目於2023年7月試生產，越南金宏超純氨項目正在產業化推進過程中；b.蘇相空分項目：蘇相金宏潤空分項目於6月成功封頂，投產後（hòu）將提高公（gōng）司液氧、液氮的自給比率；c. 二氧化碳項目：嘉興（xìng）金宏食品級二氧化碳回收項目已於2023年6月試生產（chǎn），淮南金宏食品級二氧化碳回收項（xiàng）目已於2023年6月成功封頂；d. 氫（qīng）能項目：眉山金宏氫（qīng）氣項目已（yǐ）於2023年7月試生產，株洲華龍氫氣項目已於2023 年6 月成功封頂。e. 其他：太（tài）倉金宏充裝站項目正在產業化推進過（guò）程中，啟東金宏、如皋（gāo）金宏兩個新建項目正在申請備案等（děng）合規手續中。此外，公司持續為光伏行業客戶提供現場製氣服務，截止2023年半年報發布之日，公司晶（jīng）澳（揚州）、宣城華晟一（yī）期項（xiàng）目、合肥大（dà）恒等光（guāng）伏客戶供氣項目已投運，新增浙江鴻禧、宣（xuān）城華晟二期（qī）項目、無（wú）錫華晟等項目現場（chǎng）製氣訂單。

2）新產品研發及導入放量：投產新品電子級（jí）正矽酸乙酯、高純二（èr）氧化碳正在積極導入（rù）集成電路客戶，其中高純二氧化（huà）碳已實現小批量供應；在（zài）建新品全氟丁二烯、一氟甲烷、八氟環丁烷（wán）、二氯二氫矽、六氯乙矽烷、乙（yǐ）矽烷、三（sān）甲基矽胺（àn）等7款產品正在產業化過程中。

3）電子（zǐ）大宗載氣業（yè）務持續發展：公司與北方集成、芯粵（yuè）能、廣東光（guāng）大（dà）、天馬光等簽訂電子大宗（zōng）供氣合同，廣東芯粵能項目於2023年8月1日正式量產，標誌著公（gōng）司已具備完整電子大宗載氣業（yè）務開發、建設、運（yùn）行能（néng）力。此外，公司在2023年新取得無（wú）錫華潤上華、蘇州龍馳、西安衛光科技等三個電子（zǐ）大宗載氣項目（mù）。

4）除自（zì）身發展外，外延拓寬銷售渠（qú）道：公司在長三角核心區域收購（gòu）上海振誌、上海暢和、上（shàng）海醫陽三家醫用氧銷（xiāo）售公司，進一步整合上海區域的醫用氧銷售（shòu）渠道。

此外，公司於2023年5月與中集（jí）安瑞科舉行液氦儲罐戰略合作簽（qiān）約，多方開拓液氦儲罐的采購渠道，儲罐數量穩步增加，氦氣資（zī）源充分保障集成電路客戶需求。

3、廣鋼氣體

公司是一家國內領先的電子大宗氣體（tǐ）綜合服務商，公司的產品涵蓋電子大宗氣體的（de）全部六大品種以及主要的通用工業氣體品種，具體包括氮氣（N₂）、氦氣（He）、氧氣（O₂）、氫氣（H₂）、氬氣（Ar）、二氧化碳（CO₂）等氣體品種，廣泛應用於集成（chéng）電路製造、半導體（tǐ）顯示、光（guāng）纖通信等電子（zǐ）半導體領（lǐng）域以及能源化工（gōng）、有（yǒu）色（sè）金屬、機械製造等通用工業（yè）領域。

自2018年公司中標第一單電子大宗氣體現場（chǎng）製氣項目起至（zhì）2022 年9 月，在國內集成電路製造和半導體顯示領域（yù）的新建現場製氣項目（mù）中，公司中標產（chǎn）能占比達到25.4%，排名第一；其中，在2022年1-9月新建現場製氣項目中，公（gōng）司中標產能占比高達48.2%。公司（sī）在上（shàng）述領域已與林德氣體、液化（huà）空氣、空（kōng）氣化工（gōng）三大外資氣體公司形成（chéng）“1+3”的競爭格局。

在（zài）集成電路製造領域，隨著陸（lù）續中標晶合集成、長鑫存儲、鼎泰匠芯、中車半導體、方（fāng）正微、長鑫集電、粵芯半導體、青島芯恩等行業龍頭廠（chǎng）商的新建電子大宗現場製氣項目（mù），公司打破了外資氣體公司在該領域的長期壟斷（duàn），加快推進了國產（chǎn）替代。2018 年至2022 年9 月，在國（guó）內集（jí）成電路製造細分領域的新建現場製氣項目中，公司中標產能占比達到26.2%，排名（míng）市場第二、內資企業（yè）第一。

4、中船特氣

公司是國內領先、世界知名的電子特種氣體和三氟甲磺酸係列產品（pǐn）供（gòng）應商，主要產品包括高純三氟化氮、高純（chún）六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四（sì）氟化矽、高純氘氣（qì）、高（gāo）純六氟丁二烯、高純八氟環丁烷、高純（chún）電子（zǐ）混合氣等電子特種氣體，以及三（sān）氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟（fú）新材料，產品廣泛應用於集成電路、顯示麵板、鋰電新能（néng）源、醫藥、光（guāng）纖等行業，是（shì）上述產（chǎn）業發展不可或（huò）缺的關鍵性材料。經過多（duō）年發展，公司積累了中芯國際、上海華虹、長江存儲、京東方等眾多客戶，並進（jìn）入（rù）了台積電、聯華電子、海力士等全球領（lǐng）先的半導體（tǐ）企業的供應（yīng）鏈體（tǐ）係。

本（běn）文來（lái）源：招商證券