高純氣體管道係統的配管及材質要求

高純氣體管路的設計要點：

1.對於不同特性的氣體（tǐ），要規劃獨立的供應區域，一般分為三個（gè）區：腐蝕性/毒性（xìng）氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區，將相同性質的氣體集中加強（qiáng）管理，可燃性氣體區要特別規劃防爆牆與泄漏口（kǒu），若空間不足，可考慮將惰（duò）性氣體放置與毒性（xìng）/腐蝕性氣體區。

2.管路設計需要考慮輸送的距離，距離越（yuè）長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小（xiǎo）於10ml/S,毒性/腐蝕性（xìng）氣體小於8ml/S，在用量設計方（fāng）麵，則需要考慮使用點的壓力和（hé）管徑大小，前者與氣體特性有關，後者使用點的管徑（jìng）一般為1/4”～3/8”。

3.根據用氣設備的分布情況，高純氣體的管網不宜過（guò）大或者過長；宜采用不封閉的環（huán）形管路，在係統末端連續不斷排放少量的氣體，以便（biàn）在管（guǎn）網中總（zǒng）有高純氣體流通，不會發生“死空間”引起高（gāo）純氣體的汙染。

4.管（guǎn）路中應減少不流（liú）動氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣（qì）體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控製裝置、多閥門控製裝置、用以控製各個閥門的開關（guān）順序、係統吹除，以確保供氣係統的安全、可靠運行和防止“死區（qū）”形成而滯留（liú）汙染物（wù），降低氣體純度。

5.對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送係統；也可采（cǎi）用同（tóng）等級輸送係統，但是在純度要求高的用氣設備（bèi）鄰近（jìn）處設末端氣體提純裝置。

6.為了檢測高純氣體的純（chún）度和雜質含量，輸送係統除了設置必要的連續檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質含量（liàng）等分析儀外，還應設置定（dìng）期取樣用的檢測（cè）采樣口（kǒu），以便按規定（dìng）時間進行采樣，分析高純氣體中各（gè）種雜質的含量。

7.在亞微米（mǐ）級的集成電路（lù）生產中，要求供（gòng）應10－9級（jí）的高純（chún）氣體，為（wéi）了確保末端用氣工藝設備處的（de）氣體純度，使氣體中的雜（zá）質含量（包（bāo）括塵粒）控製在（zài）規定的數值內，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器

高純氣體配管及（jí）附件材質（zhì）的選（xuǎn）擇

選用滲透性（xìng）小、出氣速率低、吸附性差的（de）材料。目前超大規模集成電路前工序高純（chún）氣體輸送係統（tǒng）管道材料（liào）采用不鏽（xiù）鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不鏽鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控製高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應用SS316L-EP管。

注：①管路型式以氣體特性（xìng）設計，惰性氣體使用一般的單層（céng）管，作為製程用（yòng）的反應氣體，則選（xuǎn）用高級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與製程反應的氣體則選用SS316L-BA管。

②對於（yú）自燃爆炸，有劇毒（dú）的特種（zhǒng）氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則（zé）考慮使用雙套管，它的內/外管材質一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設計的主要（yào）目的有兩點，首先可保護（hù）內管直接受到外力撞擊，其次能將由內管滲漏的氣體阻（zǔ）絕於外管，並利用相關的檢測設備檢測，目前常用的設計有正壓和負壓兩種方（fāng）式，負（fù）壓設（shè）計是將內外（wài）管間抽成（chéng）真空，正壓設（shè）計則是灌以氮氣維持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓（yā）力（lì）警報器檢知泄漏狀態（tài）。

通常采用的方法有機（jī）械噴砂（shā）、化學溶（róng）液清洗、化學拋光、電拋光等，目前廣泛應（yīng）用的管材有光（guāng）亮退火（huǒ）管和電拋光管