製程工藝特氣管（guǎn）道係統中（zhōng）氣體廢（fèi）氣尾氣如何處理

隨（suí）著半導體（tǐ）行（háng）業的蓬勃發（fā）展，對其配套項（xiàng）目也提（tí）出了更高（gāo）要（yào）求。特（tè）種氣體供應沒（méi）有形成有效的係統，鋼瓶淩亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題比較嚴重，極大的影響到用氣安全。那麽（me）電子特氣管道係統中氣體尾氣如何處理?

特種氣體尾氣處理方式

特種氣體對身體健康以及環境都會產生很大的危害，如何處理特（tè）氣尾氣，用什麽設備處理，這裏將會（huì）進行深入介紹。

特種氣體（tǐ）尾氣現（xiàn）狀

特氣廢氣尾氣作為特氣係統的衍生物（wù）不（bú）可避免的存在（zài）。過（guò）去，在很多高校，由於實驗室用氣量不大，建設單位的業（yè）主（zhǔ）沒有充分意識到尾氣的排放（fàng）問題（tí），隨著更多半（bàn）導體工廠雨後春筍的湧現，生產用特氣尾氣的排放越來越多的引起了（le）重視。那麽怎麽排放，如何排放成為擺在（zài）很多用戶麵（miàn）前的問題。

特氣係統尾氣排放（fàng）處理裝置的處理方式：

尾氣處理裝置Local Scrubber的類型（xíng），應根據所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇（zé），不相容特種氣體應分別設置尾氣處理裝置;

尾氣處理裝置應靠近GR、GC等（děng）特種氣體設備（bèi）布置（zhì）;

特種氣體尾（wěi）氣處理方法宜采用幹式處理吸附Local Scrubber、濕式洗滌Local Scrubber、加熱分解處理Local Scrubber、燃燒處理Local Scrubber、等離子（zǐ）分解處理Local Scrubber、稀釋處理（lǐ）Local Scrubber及以上幾種方（fāng）式的組合。