電子特氣行業競爭格局（jú）

（1）行（háng）業概況

電子氣體在電子產品製程工藝中廣泛應用於（yú）離子注入、刻蝕、氣相（xiàng）沉（chén）積、摻 雜等工（gōng）藝，被稱為集成電路、液晶麵板、LED 及光（guāng）伏等材料（liào）的“糧食”和“源”。電子特氣是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平麵顯示器件、太陽能電池 等（děng）電子（zǐ）工業生產不可或缺的原材料。

資料來源（yuán）：前瞻產業研（yán）究院 思瀚整（zhěng）理

在下遊應用領域中，半導體領域（yù）對電子（zǐ）特種氣體的純度和質量穩定性要求（qiú）最高。近年來集成電路（lù）製造領域技術快速更迭，製程節點不斷減小（xiǎo），晶圓尺寸不斷變大。作為集成電路製造的關鍵材料（liào），伴隨著（zhe）下遊產業技術的（de）快速迭代，電子特氣對純度和精度的要求持續提高，比如在純度方麵（miàn），普通工業氣體（tǐ）要求在 99.99% 左右，但是（shì）在先進製程（chéng）的（de）集成電路製造過程中，氣（qì）體純度要求通常在 6N （99.9999%）以上。

電子特氣對半導體器件性能好（hǎo）壞起到重要作用。電子（zǐ）特氣在 半導體製（zhì）造的材（cái）料成（chéng）本中占比為 13%左右，是半導（dǎo）體製造成本中僅次於矽片的第 二大材料。

（2）市場空間和市場競爭格局

全球電子特氣市場保持平（píng）穩增長（zhǎng）。根據 SEMI 數據，2019 年全球電子特氣（qì） 市場規模為 42 億美元。根據 SEMI 預計，至 2020 年電子特氣在半導體材料中的 占比將會進（jìn）一步提高，將超過（guò）光掩模成為占比第二大的材料，約占（zhàn） 13%，市場規 模將達到 43.7 億美元。2019 年起行（háng）業增速將有所（suǒ）回（huí）落，未來行業將保持在 5% 左右的增速。

數據來源：SEMI 思瀚整理

中國特種（zhǒng）氣體市場增速明顯高（gāo）於全球平均，市場潛力大。近年來，全球（qiú）半導（dǎo）體、顯（xiǎn）示麵板產業逐步向國內轉（zhuǎn）移，打造“中國芯”、實現進（jìn）口替代的緊迫性、 重要性不斷加強，半導體集成電路方麵的自主研發及產業化將得到大力推動，集成電路、顯（xiǎn）示麵板產業的發展將形成對電子特種氣體材料需求的有效帶（dài）動。根（gēn）據前瞻產業研究院數據，中（zhōng）國（guó）電子特氣 2020 年市場規模為 150億元，占全球比例約為 48%，預計 2024年我國電子特氣市（shì）場規模將達到 230 億元，全球占（zhàn）比將提高至 60%，2020-2024 年複合增速將達 11.28%。

2020 年上半年，韓國三星、LG等公司宣布今年內關閉（bì）位於中國、韓國（guó）的 LCD 麵板廠，加速了 LCD 麵板產能（néng）向國（guó）內廠商轉移的速度。根據中國產業信息網的（de）數據，韓國廠商的加速退出將使得其 2020 年及 2021 年的 LCD 麵板供給量 分別下滑（huá） 5.4%和 3.5%。相應地，LCD 麵板行業將呈現結構性變化，大陸麵板（bǎn）廠 商（shāng）迎來替代機遇。

根據思瀚數據顯示，大陸（lù）麵板廠（chǎng）的大尺寸麵板產能占比從（cóng）2019 年的 44.8%提升至 2021 年的 65.3%。隨著（zhe）全球半導體產業鏈向國內轉移，國內電（diàn）子氣體（tǐ）市（shì）場增速明顯，遠（yuǎn）高於全球增（zēng）速。近年來國（guó）內半導體市場發展 迅速，在建和未來規劃建設的產能為電子（zǐ）氣體提供了廣闊的空間。

數據來源：前瞻產業研究院

從細分產品來看，砷烷、磷烷主要用於集成電路製造的摻雜工藝和 LED 的 化學氣相沉積工藝，是半導體領域加（jiā）工製造過程中的關鍵材料（liào）之一。下遊以集（jí）成（chéng） 電路（lù）為主的旺盛需求為（wéi）磷烷砷烷提供了廣闊的增長空間（jiān）。

根據QY Research數據， 全球磷烷、砷烷產能（néng）於 2028 年將分別（bié）達到 480 噸、290 噸，2022 年至 2028 年複 合增長（zhǎng）率分（fèn）別為 12.25%、13.59%，保持（chí）穩（wěn）健（jiàn）增長。這其中，國內高純磷烷產能 在 2024 年將達到 212 噸，占全球比例為 55.79%，至 2028 年預計將達到 292 噸， 占全球比例上升至 60.83%，2022 年至 2028 年複合增長率達到 19.16%，增速高 於全球水平；國內高純砷烷產能 2024 年將達到 160 噸，占全球比例為 60.38%， 至 2028 年預計將達到 180 噸，占全球比例上升至 62.07%，2022 年至 2028 年複 合增（zēng）長率達到 23.80%，亦高於全球水平。同時，國內市場銷售規模（mó）也呈快速增長趨勢。

國（guó）內磷烷 2021 年市場規模為 10,802 萬元，預計 2028 年將達到 33,000 萬元，全球占比將達到 46.02%；國內砷 烷 2021 年市場規模為 8,412 萬元（yuán），預計 2028 年（nián）將達到 15,880 萬元，全球占比將（jiāng） 達（dá）到 38.93%，中國將（jiāng）成為（wéi）磷烷、砷烷的主要銷售地區。含氟電子特氣作為（wéi）集成電（diàn）路製造領域優良的（de）等離子蝕刻和清洗材料，近年來 呈現良好的增（zēng）長趨勢。

華經產業研究院、QY Research 的統計顯示，2021 年國內 三氟化氮需求量達到約1.6萬噸，占全球約40%-42%。QY Research預測2019-2021年國內三氟化氮需求量複（fù）合增長率約為（wéi） 23.2%，華經產業研究院預計（jì）為 28.7%， 按照低值 23.23%保守預計，至2025 年，國內三（sān）氟化氮市場需求量達到 3.7 萬（wàn）噸，2030 年超過 10 萬噸。

從整體上看，我國（guó）電子特（tè）氣呈現出受製於人的局（jú）麵，但從細（xì）分市場上看，我 國（guó）部分特氣產品已實現彎道超車，需（xū）通過進一步擴產（chǎn）來擴大市場份額、鞏固競爭 優勢。如在磷烷、砷烷領域（yù），南大光電（diàn）的高純磷烷、砷烷產品（pǐn）已實現自主可控並已占據市場主要份額；在（zài）含氟電子特氣領域，國內廠商已經是國內三氟化氮市場 的主要供應商，但（dàn）由於旺盛（shèng）的產品（pǐn）需求和對國際廠商的替代，仍需進一步進行擴產。