中（zhōng）泰化（huà）工丨特種氣體專題報告：電子工業“血液”，國產（chǎn）化勢在必行

摘要

觀點1：特種氣體：現代工（gōng）業“糧（liáng）食”。特種氣體是工業氣體中的（de）一個新興門類，是隨著（zhe）近年來（lái）國防工業、科（kē）學（xué）研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的，從應用領域劃分，可以（yǐ）劃分（fèn）為電子氣體、高（gāo）純氣體、標準氣體。廣義的“電子氣體”指可用於電子工業生產中使用的氣體，是最（zuì）重要（yào）原材料之一，可以分為電子特種氣體和電子大宗氣體，電子氣體廣泛應用於（yú）離子（zǐ）注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電（diàn）路、液晶麵板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。

觀點2：產能轉移，下（xià）遊行業快速發展。特種氣體（tǐ）廣泛（fàn）應用於集（jí）成電路、顯示麵板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車（chē）、航空航天、環保和醫療等新興產（chǎn）業（yè）領域。集（jí）成（chéng）電路領域，中國大陸集成電路銷售規模從2158億元（yuán）迅速增長到2018年的6531億元，複合增速為（wéi）20.27%，遠超全球其（qí）他地區；顯示麵板領域，根據（jù）IHS預（yù）測，2016年-2025年全球新型顯示麵（miàn）板需求麵積的CAGR預計將達4%，到2025年增長至2.66億平方米。

觀點（diǎn）3：特氣市場持續增長。全球特種氣體市場保持平穩增長態勢，其中亞太地區（qū）特種氣體需求增（zēng）長最（zuì）快，預計2020年市場規模將達到168億美元，占全球特（tè）氣比重提升至25.80%。我國（guó）特氣市場規模由2010年118.14億元增長至2018年296.49億元，CAGR為（wéi）12.19%，預計（jì）2024年市場規模可達1087億元；電子特氣市場規模由2010年（nián）38.99億（yì）元（yuán）增長（zhǎng）至2018年121.56億元，預計到2024年我國電子特氣市（shì）場規模（mó）達到230億元。

觀點4：外企（qǐ）寡頭壟斷（duàn），國產化勢在必行。電子特（tè）氣行業具有較高的進入壁壘，空氣化工、林德集團、液化空氣和（hé）大陽日酸等四大公司控製著全球90%以（yǐ）上的市場份額，呈現寡頭壟斷的格（gé）局。在國內市場，海外四大氣體巨頭控（kòng）製了我國電子特氣市場88%的份額，國內氣體公（gōng）司市場份額合（hé）計僅占12%，國內企（qǐ）業（yè）占比較低。目前國內雅克科技、中船重工718所、華特氣體、昊華科技等企業陸續突（tū）破，未來有（yǒu）望逐漸實現進口替（tì）代。

投資建議（yì）：隨著下遊半（bàn）導體行業（yè）轉移（yí），相關企業有望快速放量，建議關注雅克科技、華特氣體、昊華科技、金宏氣體、和遠氣體（tǐ）、南大光電等。

風險提（tí）示事件：特種氣體研發不及預期（qī），下遊客戶認（rèn）證不及預期。

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特種氣體概況

1.1 工業氣體：工業（yè）“血液（yè）”

工業中，把常溫常壓下呈氣態的產品統（tǒng）稱為工業（yè）氣體。工業氣體是現代工業的基礎原材料，在國民經濟（jì）中有著重（chóng）要的地位和作用，工業氣體行業原材料是空氣、工業廢氣、基礎化學原料等，其上（shàng）遊行業是氣（qì）體分離及純化設備製造業、基礎化學原料行業、壓力容器設備（bèi）製造業等。下遊領域（yù）包括集成電路、液晶（jīng）麵板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環（huán）保、新材料、新能源、高端裝備製造等（děng）新興行業以及冶金、化工、機械製造等傳統行業，對國民經濟的發展有著戰略性的支持作用，因（yīn）此被喻為“工業的（de）血液”。

根據製備方式和應用領（lǐng）域的不同，工業氣體可分為大宗氣體和特種氣體（tǐ），大宗氣體主要包括氧、氮、氬等空分氣體（tǐ）及乙炔、二氧化碳等合成氣體，特種氣體品種較多，主要包括電子特種氣體、高純氣體和標準（zhǔn）氣體（tǐ）等。

1.2 特（tè）種氣體：現代工業（yè）“糧食”

特種（zhǒng）氣體是工業氣體中的一個（gè）新興門類，是隨（suí）著近年來國防（fáng）工業、科學研（yán）究、自動化技術、精（jīng）密檢測，特別是微電子技術的發展（zhǎn）而發（fā）展起來的。20世紀80年代，電子產業的興起（qǐ）推動特種氣體的需求提（tí）高，外資開始通過收購、新設等方式建立氣（qì）體（tǐ）公司進入中國氣體市場，向國內氣體用戶提供氣體產品，隨（suí）著（zhe）氣體供（gòng）應商供氣模式的引（yǐn）入，國內企（qǐ）業原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨（dú）立的氣體公（gōng）司，國內特種氣體市場（chǎng）逐步發展起來。

從應用（yòng）領（lǐng）域劃分，特（tè）種（zhǒng）氣體主要有電子氣體、高純氣（qì）體和標準氣體三種，廣泛應用於電子半導體、化工、醫療（liáo）、環（huán）保和高端裝備製造等領域。其中，電（diàn）子（zǐ）氣體是指用於半導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子（zǐ）氣體品種基本齊全，但數量（liàng）和質量與發達國家相比，尚有（yǒu）較（jiào）大差距；高純氣體通常指利用現代提純技術能（néng）達到的某個等級純度的氣體（tǐ），對於不同類別的氣體，純度指標不同，大多用於超大規模集成電路及分離器件、光電子等高科技（jì）領域；標準氣體嚴格意（yì）義上（shàng）應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體（tǐ），可分為單元標準（zhǔn）氣體和多（duō）元標準氣體，目前標準氣基本滿足了（le）我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求，但對活性較強的標準氣，國內尚無法徹底解決量產（chǎn）問（wèn）題。

在2018年我國特種氣體年銷售額中，電子行業約占41%，石油化（huà）工約占39%，醫療環保約占10%，其它約占10%。

1.3 電子氣體（tǐ）：電子工業“血（xuè）液”

廣義的“電子氣（qì）體”指可用於電（diàn）子工業生產中使（shǐ）用的氣體，是最重要原材料之一，狹義的“電子氣體”特（tè）指（zhǐ）可用於電子半導體領域生產（chǎn）的特種（zhǒng）氣體。電子氣體可以分為電子（zǐ）特（tè）種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電（diàn）子產品製程工藝中廣泛應用於離子（zǐ）注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集（jí）成電路、液晶麵板、LED及光伏等材料的“糧食”和（hé）“源”。

1.4電子氣體地位（wèi）日益凸顯

近年來，隨著電子工業的快速發展，電子氣體在半導體行業中的地位日益凸（tū）顯。在微電子、光電子器件生產過程中，從單個芯片生成到最後器件的封裝，幾乎每一步、每一個環節都離不開（kāi）電子氣體，在不（bú）同的電子應用領域中，電子（zǐ）特種氣體和電子大宗氣體的成（chéng）本占比略有不同。其中，集成電路領域，電子特種氣體（tǐ）和電子大宗氣體各自占比50%。電子氣體的質量很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電（diàn）子氣體純度每提高一個數量級，都會極大地推動（dòng）半導體器件質的飛躍。

電子氣體是僅次於大矽片的第二大（dà）市場需求半導體材料，電子氣體在2016年的半導體材料市場占（zhàn）比達14%。隨著半導體產業的發展，電子氣體市場也隨之增長。

電子特種氣體的下遊應用領域主要（yào）為電子半導體領域，具體又分為光伏、光纖通信、LED、液晶麵板和集成電路，電子特氣市場需求與下遊產（chǎn）業景氣度關聯度較高。2018年中國（guó）集成（chéng）電路、顯（xiǎn）示麵板、光伏三大下遊對電子特（tè）氣的需求占比（bǐ）超過（guò）90%。

1.5電子特氣在電子產業的應用

1）電子氣體在集成電路領域的（de）應用

特種氣體是半導體材料製造過程（chéng）不可缺少的基矽性支撐材料，處於半導（dǎo）體產業鏈的上遊，被稱為半導體的“源（yuán）”，主要應用於薄膜、刻蝕、摻（chān）雜、氣（qì）相沉積、擴散等工藝。

化學氣相沉積(CVD)：是通過氣體混合的化學反應，在矽（guī）片表麵沉積一層固體膜的工藝，通常包括氣體傳輸至沉積區域、膜先驅（qū）物的（de）形成、膜先驅物附著（zhe）在矽（guī）片表麵、膜先驅物粘附、膜先驅物擴散、表麵反（fǎn）應、副產（chǎn）物（wù）從表麵移除、副產物從反應腔移除（chú）等（děng）八個主要步驟。化學（xué）氣相沉（chén）積常用的特種氣體包括:SiH4、DCS、TCS、SiCl4、TEOS、NH3、N2O、WF6、H2、O2。

刻蝕：是采用化學和物理方法，有選擇地從矽片表麵去除不需（xū）要的材料的過程，刻蝕（shí）的目的是在塗膠的矽片（piàn）上正確地複製掩膜圖形，可分為濕法刻蝕和幹法刻蝕。矽片的刻蝕氣體主要是氟基氣體，包括CF4、CF4/O2、SF6、C2F6/O2、NF3等，但（dàn）由於（yú）其各向同性（xìng），選擇（zé）性較（jiào）差，因此改進後的刻蝕氣體通常包（bāo）括氯基（jī）(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。鋁和（hé）金屬（shǔ）複合層的刻蝕通常采（cǎi）用氯基氣體，如CCl4、Cl2、BCl3等。

摻雜：是將需（xū）要的雜質摻入特定的半導體區域中，以改變半導體電學（xué）性質，形成pn結、電阻、歐姆接觸等（děng）。常用的三（sān）價摻雜氣體有B2H6、BBr3、BF3等，常用的五價摻雜氣（qì）體有PH3、POCl3、AsH3、SbCl5等。

2）電子氣體顯示麵板領域應用

薄膜晶體管（TFT）和液晶顯示器（LCD）具有體積小、重量輕、低（dī）輻射、低耗電量、全彩化、速度快、對比度和亮高、屏幕觀察角度大、分辨率高等優點，是目前主流的平麵顯（xiǎn）示設備。TFT/LCD的生產（chǎn）包括TFT陣列（liè）(包括（kuò）薄膜、光（guāng）刻、刻蝕)、彩色濾光片(包括黑矩陣膜、紅綠藍膜、透（tòu）明導電層)、麵板、模組等（děng）工序。薄（báo）膜工序，通過化學氣相沉積，在玻璃（lí）基板上沉（chén）積SiO2、SiNx、a2Si、n型a2Si薄膜，使用的特種氣體有SiH4、PH3、NH3、NF3等；幹法刻蝕工序，在等離子氣態氛圍中選（xuǎn）擇性腐蝕基材（cái），通常采用SF6、HCl、Cl2等氣體。

3）電子氣體在太（tài）陽能電池中的應用

太陽能（néng）電池分為晶體矽太陽能電池和薄膜太陽能電池，薄膜太陽（yáng）能電池分為非晶矽(a-Si)薄膜和（hé）非晶/微晶矽（guī）(a-Si/μc-Si)疊層薄膜（mó）。晶（jīng）體矽電池片生產中的擴散工藝用到POCl3和O2，減（jiǎn）反射（shè）層PECVD工藝用到SiH4、NH3，刻（kè）蝕工（gōng）藝用到CF4；非晶矽太陽（yáng）能電池在LPCVD沉積TCO工序用到DEZn、B2H6；非晶/微晶矽沉積工序用到SiH4、PH3/H2、TMB/H2、CH4、NF3等。

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下遊需求旺盛，引領特氣行業高增長

2.1 下遊（yóu）產業發展迅速，引領特氣行業高增長（zhǎng）

我國特種氣體（tǐ）行業在2006年後進入快速（sù）發展階段，廣泛應用於集（jí）成電路（lù）、顯（xiǎn）示麵（miàn）板（bǎn）、光伏能源、光纖光（guāng）纜、新能源汽車、航空航天、環保和醫療等新興產業領域，在《十三五國家戰略新興產（chǎn）業發展規劃》等產業政策的推動下，特種氣體的下遊產業迅速發展，同時產業創新、技術（shù）迭代帶來新工藝和新產品等，不僅在規模上增加了特種氣體的（de）需（xū）求，也進一（yī）步拓寬了特（tè）種氣體的應用領域（yù），不斷產生新的特種氣體產品需求。

1）半導體行業：產業鏈向國內轉移，市（shì）場持續增長

半導體（tǐ）產業向國內轉（zhuǎn）移。從區域分布看，根據WSTS統計數據，亞太地區市場規模占全球市場的比例不斷提高，亞太與日本市場合計（jì）約占全球半導體（tǐ）市場（chǎng）的70%左右，2017年，全球半導體市（shì）場規模為4122.21億美元（yuán），同比增長21.6%，2018年全球半導體市場保持增長勢（shì）頭，市場規模達（dá）到4779.40億美元，同比增（zēng）長15.90%；從芯片銷（xiāo）售額看，根（gēn）據WSTS發（fā）布的數據，2016年中國（guó）半導體消費額（é）1075億美元，占全球總量的32%，已成為全球（qiú）最大的半導體消（xiāo）費市場。隨著國內製造業環節（jiē）快速發展，以及國內巨大的消費市場（chǎng）和勞動力人口優（yōu）勢，半導（dǎo）體（tǐ）產業將加快向國內轉移，世界市場份額不斷向中國集中。

半導體行業持續增長。全球半導體市場規模近年來（lái）增速平穩，2012-2018年複（fù）合增速8.23%。其中，中國大陸集成電路銷售規模從2158億元迅速（sù）增長到2018年的6531億元，複合增速為（wéi）20.27%，遠超全（quán）球其他地（dì）區，全球半導（dǎo）體產業加速向大陸轉移。2014年國家發布了《國家集成電路產業發展推進綱要》並設立了投資產（chǎn）業基金（jīn），根據規（guī）劃我（wǒ）國集成電路銷售（shòu）額平均（jun1）增速將保持在20%，因此半（bàn）導（dǎo）體集成電路電子用氣市（shì）場規模有望快速（sù）增長。

2）顯示麵（miàn）板行業（yè）：尺寸大型化發展（zhǎn），市場平穩增長

全球顯示麵板行業穩定增長。全球平板顯示產業保持平穩增長，業態發展呈現尺寸大型化、競爭白（bái）熱化、轉移加速（sù）化和產品定製化（huà）等特點，受益於電視平均尺寸增加以及（jí）大屏手機（jī）、車載顯示和公共顯示等需求的拉動，根據IHS預測，2016年-2025年全球新型顯示麵板需求麵積的CAGR預計將（jiāng）達4%，到2025年增長至2.66億平方米。

我國麵板顯（xiǎn）示行業市占率不斷提升。受益於國家政策（cè）的支持，我國麵板顯示行（háng）業逐（zhú）漸發展起來，在全球的市占率也逐步提高，2011年中國大陸大尺寸麵（miàn）板占全球（qiú）比例約為（wéi）1%，經過多年的發（fā）展，2018年上升至42%，大尺寸麵板產能為78.9百萬平方米/年，預計2020年達到125.9百萬平方米/年。

LCD市場，近年來（lái）我（wǒ）國麵板廠商繼續加快高世代液晶麵板生產線的（de）建設與投產，2019-2021年將有8條產線陸續（xù）投產，合計產能超過6000萬平方米，預計到2021年中國將占到全球58%的市場份額。在OLED市場方麵，目前是韓國（guó）占據主導地位（wèi），但國內麵板廠商近年來不斷提高OLED技術，同時加快布局OLED生產線。預計未來（lái）國（guó）內OLED麵板產能將會得到快速的釋放，據DSCC預（yù）測，中國OLED麵板市場（chǎng）份額到2025年（nián）將會快速增長至43%。

3）光伏（fú）行（háng）業：國家政策支持，市（shì）場快速增長（zhǎng）

中國光伏產業起步較晚但呈（chéng）現迅速發展的勢頭。2010年後，在歐洲經曆（lì）光伏產業需求放緩的背景下，我國光（guāng）伏（fú）產業迅速崛起，成為全球光伏產業發展（zhǎn）的主要動力，2018年（nián）全國新增光伏並網裝（zhuāng）機容量達到44GW，同比下降17%，累計光伏裝機（jī）並網容量（liàng）超過174GW，2019年，我國新增光伏並網裝機容量達到30.1GW，同比下降32.0%，累計光伏並網裝機量達到204.3GW，同比增長17.1%，盡管在政策調整下，整（zhěng）體光伏市（shì）場有所（suǒ）下滑（huá），受（shòu）益於（yú）海外市（shì）場的增長，我國光伏產業規模穩步擴大、技術創新不斷推進、出口增速不斷提升。自2013年至2019年（nián）我國新增和累計裝（zhuāng）機容量均為（wéi）全球第一，預計2020年光伏新增裝機量超過35GW，較2019年有所回升（shēng），累計（jì）裝機有望達到約240GW。

2.2 氣體市場持續發展（zhǎn）

全球工（gōng）業氣體市場近年來呈現穩步增長的態勢，2018年全球工（gōng）業氣體市場規模約為（wéi）1220億美元。目前，全球工業氣體需求的主要市場仍然（rán）是北美和歐洲，但增速顯著放緩；亞（yà）太地區近年來發展很快，已成為拉動全球市場增長的主要引擎。

我國工業氣體行業在80年代末期已初具規模，到90年代後期開（kāi）始快速發展。近年來我國工業氣體（tǐ）行業發（fā）展迅速，市場規模由2010年（nián）的410億元上升至2018年的1350億元，2010-2018年年均複合增長率達（dá）到16.05%。與發達國家相比，我國人均工業氣體消（xiāo）費量還處在較低水平，根據2018年的（de）人均工業氣體消費量統計，我國的人均工業氣體消費隻有美國的1/26，不足西歐與澳洲的1/20，與南美和東歐國家也有較大差距，未來仍有很大（dà）的發展潛力。

新興（xìng）分散用（yòng）氣市（shì）場逐漸興起。工業氣（qì）體市場較為複（fù）雜（zá），可大致分為大宗集中用氣市場（chǎng）和新興（xìng）分散用氣（qì）市場，其中（zhōng）大宗集中用氣市（shì）場主要是傳統（tǒng）行業，包括冶金、煉化和煤化工等，對氣體需求品種（zhǒng）單一且使用量巨大（dà），而（ér）新興分散用（yòng）氣市場主要是高新技術產業，包括電子製造、光伏和生物醫藥（yào）等。鋼鐵、化工等傳統（tǒng）大宗用氣市場規模相對較為穩定，用氣品類也（yě）較為單（dān）一，新興分散零售市場用氣數量和種類在工業氣體（tǐ）應用中占比越來越高（gāo），由2007年占比40%提升至2015年52%，有逐漸超過傳統行業用氣（qì）市場需求的（de）趨勢。

全球（qiú）特種氣體行（háng）業保持平穩增長態勢。全球特種氣體（tǐ）市場規模由（yóu）2010年200億美（měi）元增長至2018年（nián）421億美元，年均複合增長率為9.75%。根據前瞻產業研究院預測，未來數年全球（qiú）特種氣（qì）體市場規模將以年均9%的速度增長，預計2024年全球（qiú）特種氣體市場（chǎng）規模將達到（dào）706億美元。從地區分布來看，美洲是全球特種（zhǒng）氣體市場規模最大的地區，占比約為45.17%，其次為歐洲、中（zhōng）東和非洲市場占比31.40%，亞太（tài）地區占比最小為23.43%。預計至2020年，亞太地區特種氣體需求增長最快（kuài），市場規模將達（dá）到168億美元，所占（zhàn）比（bǐ）重提升至25.80%；美（měi）洲地區（qū）需求增長有所放（fàng）緩，市場規模為253億美元，占比降（jiàng）至38.90%。

我國特種（zhǒng）氣體行業市場規模呈現穩定上升趨勢。特氣行業（yè）市場規模由2010年118.14億元增長至2018年296.49億元，年（nián）均複合增長率為（wéi）12.19%，預計未來五年我國特種氣體市場（chǎng）持續增長，2019-2024年特（tè）種氣體市場（chǎng）增速（sù）可以達到12%左右，2024年市場規模中（zhōng）性預測（cè）可達1087億元，保守預計將達（dá）到915億元。

我國電子（zǐ）特種氣體市場（chǎng）規模保持（chí）快速發展。電子（zǐ）特氣市場規模由2010年38.99億元增長至2018年121.56億元，年均複合增長率為15.21%，電子特氣市場規模占我國特氣（qì）市場規模的份額也在（zài）逐步提升（shēng），2018年占比達到20.8%。從細分領域來看，應（yīng）用於半導體領域的電子特氣市場規模占比不斷提高，2018年半導（dǎo）體領域需求市場規模達85億元。2014年《國家集成電路產業發展推進（jìn）綱要（yào）》提出到2020年集成電（diàn）路全行業銷（xiāo）售收入年均增速超過20%，隨（suí）後國家出台一係列相關產業（yè）政策支持（chí）集成電路行業的發展，未來集成電路行業將持續保持增長，預計到（dào）2024年我（wǒ）國電子特氣市場規（guī）模將會達到230億元（yuán）。

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外企寡頭壟斷，國產化勢在必行

3.1 行業具有較高的（de）進入門檻

特氣行業具有較高的進入壁壘。特種氣體在其生產過程中涉及合成（chéng）、純化、混合氣配製、充裝、分析（xī）檢測和氣瓶處（chù）理等多項工藝技（jì）術，以及客戶對純度、精度等的高要（yào）求，對行（háng）業的擬進入者形（xíng）成了較高的技術壁壘。除較高的技術壁壘外，特種氣體行業還存在著（zhe）客戶認證壁壘、資金壁壘、市場壁壘（lěi）、資質（zhì）壁壘以及人才壁壘，因此，由於行業較高的進入門檻，我（wǒ）國高端特種氣體市場一直被幾家外資氣體巨頭公司所占據，雖然在傳統（tǒng）及中低端產品方麵，我國已經形成了規模優勢，但（dàn）在高端氣體尤其是特氣方麵（miàn），我國的差距還是比較明顯。

3.2 外企（qǐ）寡（guǎ）頭壟斷，市場高度集中（zhōng）

經過多年的發展和兼（jiān）並（bìng）收購，全球工業氣體市場多頭壟斷的市場格局。2018年10月（yuè）23日，德國林德集團官方宣（xuān）布與美國普萊克（kè）斯集團完成對等合並，成為全球（qiú）最大（dà）的工業氣體業務供應商，合（hé）並後（hòu）三大氣體巨頭林德（dé）集團、液化空氣、空氣化工占據全球工業氣體外包（bāo）市場76.71%的份額，市場高度集中（zhōng）。

全球半導體用電子氣體市場中，2018年，空氣化工、林德集團（tuán）、液化空氣和大陽日酸等四大公司控製著全球90%以上（shàng）的市場份額，形成寡（guǎ）頭壟（lǒng）斷的局麵。在國（guó）內市場，海外四（sì）大氣體巨頭控製了我國（guó）電子特氣市場88%的份額，國內氣體公司市場份額合計僅占12%，國內企業占比較低。國內（nèi）電子氣體起（qǐ）步較（jiào）晚，在技術上與國外有一定差距，目（mù）前一些電子（zǐ）氣體實現了國產化（huà），如超純氨、氧（yǎng）化亞氮、氟碳類氣體等，但包括氦氣在內的大多數電子氣體仍以進口為（wéi）主，未（wèi）來（lái）我國電子氣體進口替代空間較大（dà）。

3.3 政策（cè）大（dà）力（lì）支持，國產化勢在必行

國家產業政（zhèng）策支持助推（tuī）行業（yè）快速發展。特種氣體作為關鍵（jiàn）性材料，應用廣泛，特別是在集成電路、顯示（shì）麵板、光伏能源和光纖光纜等新興領域發揮（huī）重要作用。近年（nián）來特氣行業得到國家政策的大（dà）力支持，國家發（fā）改委、科技部、工信（xìn）部（bù）和財政部等多部（bù）門相繼出（chū）台多部新興產業相關政策（cè），均明確提及並部署了（le）氣體產業的（de）發（fā）展，並且對於特種氣體確立了其新材（cái）料產（chǎn）業屬性，有力推動了氣體產業的（de）發展（zhǎn）。

國內特種氣體發展的初期由於（yú）技術、工（gōng）藝、設備等多（duō）方麵差（chà）距明顯，產品（pǐn）大多依賴（lài）進口。從特種氣（qì）體進出口金額來看（kàn），我（wǒ）國進口金額遠遠大於出口金額，2017年（nián），我（wǒ）國特種（zhǒng）氣體進口金額為125.85億美（měi）元，出口金額為8.57億美（měi）元。隨著技術的逐步突破，國內氣體公司在電光（guāng）源氣體、激光氣體、消毒氣等領域發展迅速，但與國外氣體公司相比，大部分國內氣體（tǐ）公司的供應產品仍較為單一，用氣（qì）級別不高（gāo），尤其在集成電路、顯示麵（miàn）板、光伏能源、光（guāng）纖光纜等高端領域，相關特種氣體產品主要依賴進口。隨著國內這些下遊新（xīn）興產業（yè）的技術更迭和（hé）快速發展，而且特種氣體作為危險化（huà）學品，產品包裝、運輸有嚴格的規定，相較於國外企業，國內特（tè）種氣體企業（yè）物流成本更低，供貨更及時（shí），同（tóng）時國內產品價格具（jù）有明顯的優勢，因此，特種氣體國產化是未來（lái）行業發展的必然趨勢（shì）。

我（wǒ）國特種（zhǒng）氣體（tǐ）市場中，國內氣體企業雖然數（shù）量（liàng）眾多，但普遍規模較小（xiǎo），且一般為（wéi）區域性（xìng）企業，截至2017年底，我國（guó）特種（zhǒng）氣體行業規模以上（shàng）企業數量達到211家，較上年增加4家，保守估（gū）計2018年我國特（tè）種氣體企家數量（liàng）為225家。國內主要企業有中船重工七一（yī）八（bā）所、黎明（míng）化工研究院、綠菱氣體（tǐ）、金宏氣體、南大光電和華特氣體。盡管與國際氣體公司相比（bǐ），國內氣體公司在資金、技（jì）術、設備等方麵仍有差距，但在技術不斷突破、國家政策大力扶（fú）持、下遊（yóu）市場發展迅速等多重（chóng）因素影響下，加上國內企業擁有的國際（jì）企（qǐ）業無法比擬的低成本（běn）、貼近（jìn）客戶、反應靈活等（děng）優勢，國內氣（qì）體（tǐ）企業的競爭力將不斷增強，市場份額有望擴（kuò）大。

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相關上市公司

4.1 華特氣體：特種氣體國產化先行者

核心技術打破特氣進口（kǒu）製約，訂單（dān）實現增長。廣東華特氣（qì）體股份有限公司創建於1999年，主營業務以特種氣體的（de）研發、生產及銷售為核心，以普通工業氣體和相關氣體設備與工程業務為輔（fǔ）。公司的特種氣體（tǐ）產品至今已（yǐ）有（yǒu）約230餘種，率先實現了包括高純四氟化碳、高純（chún）六（liù）氟乙烷、光刻氣、高（gāo）純二氧化碳等近20種產品的進口替（tì）代，是中國特種氣體國產化的（de）先行者。同時，公司向下遊半導體（tǐ）客戶持續導入新產品以及下遊（yóu）客戶（hù）開始擴產（chǎn），如中芯國際的寧波（bō）中芯（xīn）、中芯（xīn）南方、紹興（xìng）中芯等（děng）多條產線量產，華虹宏力無錫生產線量產，長江存儲、華潤微電子重慶生產線擴產，特種（zhǒng）氣體從此類半導體領域的老客戶中的銷售收入將實現增長。

客戶（hù）資源優質，境內外業務兼顧。公司擁有國內一線客戶，進入國際半導體供應鏈。公司的（de）客戶（hù）可分為為終（zhōng）端（duān）客戶和氣體公司，終端（duān）客戶以集成電路等半導體（tǐ）領域為主，主要包括中芯國際、華虹宏力、華潤微電子等國內（nèi）知名客戶等；氣體公司客戶以海外大型（xíng）氣體公司為主，包括液（yè）化空氣集團、普萊克斯集團、大陽日酸株式會社、林（lín）德集（jí）團等。公司注重海外業務（wù）的（de）拓展，是國內最早從事氣體（tǐ）進出口業務的氣（qì）體企業之一，在氣體出口規模（mó）上處於國內領先地位。2016-2018年，公司的境外主營業務收入分別為1.50億元、1.32億元、1.60億元，占主營業（yè）務收入（rù）的比例分別為23.10%、16.90%、19.76%。

產能陸續投放，保（bǎo）障公司發展。華特（tè）氣體（tǐ）於2019年底（dǐ）在科創板上市，公司本次公開發行股（gǔ）票不超過3000萬股，計劃募（mù）集資金4.5億元（yuán），公司擬投資（zī）3.48億元用（yòng）於氣體（tǐ）中心建設及倉儲經營項目，根據測算，項目達產後可新增營收3.32億元，內部收益率為18.25%，投資回收期（qī）為7.58年。公司擬投資0.9億（yì）元開（kāi）展電子氣體生產純（chún）化及工業氣體充裝項目（mù）。根據測算，本項目建設期為36個（gè）月（yuè），項目達產後可新增營收1.73億元，項目內部收（shōu）益率為（wéi）21.29%，投資回收（shōu）期為6.43年。此外，公司還擬投資智能化運營項目（mù）提升公司智能化管理水平、運營效率及產（chǎn）品安全性水平（píng），補（bǔ）充流（liú）動資金以增強公司的運營（yíng）能力和市場（chǎng）競爭力。

4.2 昊華科技：電子氣體行業領（lǐng）軍者（zhě）

重組11家化工研究院（yuàn）實現整（zhěng）體上市。公司的前身天科股份，以碳一化學技術及催化劑的生產銷售為主營業務，於2001年1月在上交所（suǒ）掛牌上市，2018年，公司收購晨光院、黎（lí）明院、西北院、光明院、曙光院、沈陽院、海化院（yuàn）、大連院、錦西院、株洲院和北方院100%股權，公司業務範圍及結（jié）構實現拓展、優化（huà），從以提供技術服務為主（zhǔ）導的業務模式轉變為以產品、研發、生產及銷（xiāo）售一體化發（fā）展的經營模式，主營（yíng）業務為氟材（cái）料、特種（zhǒng）氣體（tǐ）、特種橡（xiàng）塑製品、精細化學品和技術服（fú）務五大板塊。重組後公（gōng）司轉型升級為（wéi）先進材料、特種（zhǒng）化學（xué）品及創新服務提供商。2019年6月，公司更名為昊華科技。

電子特氣技術領先企業。公司子公司（sī）黎明院（yuàn）是最早從事六氟化硫研發的企業，亦是國內（nèi）僅（jǐn）有的高純度六（liù）氟化硫（liú）研製企業。三氟化（huà）氮主要應用於半導體工（gōng）業的氣體清洗劑，液晶顯示（shì）行業的蝕刻劑和太陽能（néng）電池製造業的蝕刻和清洗氣體。公司與京東方等下遊領先企業（yè）建立了穩固合作關係，是國內領先三氟化氮供應商。此外，公司自主研發生（shēng）產的硒化氫和綠色四氧化二氮等，已成功實現進口替代，在細分軍（jun1）品領域內，具有（yǒu）領先優勢。光明院是是我國重要的特種（zhǒng）氣（qì）體研究、生產基地，承擔過多項國家各類科技項目。主要產品包括綠色四氧化（huà）二氮、高純硒（xī）化氫、高（gāo）純硫化（huà）氫、二（èr）氧化碳-環氧乙烷（wán）混合氣、標準混合氣體。光明院曾為中國載（zǎi）人航天工程協作配套工作、“嫦娥工程”等項目做出貢獻，在（zài）國（guó）防化工（gōng）新材料、半導體集成電路、氣體（tǐ）分析具有行業領先優勢。

重組後公司業績保持增長。2018年為公（gōng）司重大資產（chǎn）重組之年，公司全年營（yíng）業收入達到41.82億元，營收的大幅（fú）增長來源（yuán）於（yú）中（zhōng）昊晨光化工研究院（yuàn）等11家公司並（bìng）入報表，同口徑下營業收入較2017年度增長14.7%。2019年公司實現營業收入47.01億元，同比增長10.55%；歸（guī）母淨利潤5.25億（yì）元，同比下降0.75%。公司營收結構中，氟材料、精細化學品和特種橡膠產（chǎn）品三者（zhě）合計占營收比例超過90%，特種氣體占營收比例不斷提（tí）升（shēng），由2018年占比7.75%提（tí）升至2019年8.91%。

4.3 金宏氣體：國內氣體行業民營龍頭

華東地區重要的特種氣體和（hé）大宗氣體供應商。公司成立於1999年，2014年在新三（sān）板上（shàng）市，2020年公司終止新三板掛牌（pái），在科創板上市。公司是一家專業從事氣（qì）體研發、生產、銷售和服務的環保集（jí）約型綜合氣體供應商。公司目前已初步建立品類完備、布（bù）局合理、配送可靠的（de）氣體（tǐ）供（gòng）應（yīng）和服務網（wǎng）絡（luò），能夠（gòu）為電子（zǐ）半導體、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高端裝備製造等（děng）行業客戶提供（gòng）特種氣體、大宗氣體和51吃瓜网三（sān）大類100多個氣體品種。根據（jù）中國工業氣體工（gōng）業協會的統計，2017-2018年公司銷售額連續兩年在協會的民營氣體行業企業統計中名列第一（yī）。

研發能力突出，擁有優質客戶資源。公司目前擁（yōng）有150項專利（lì），其中（zhōng）發明專利32項，主導或參與製定多項國家標（biāo）準，擁（yōng）有氣體行業中唯一專注於電子氣體研發的國家企業技術中心、CNAS實驗室（shì），多次承擔國家科（kē）技部火炬項目。公司與國內電子（zǐ）半導體領域的眾多知名企業建立了（le）合（hé）作關係（xì），例如集成電路行業的聯芯集成、華潤微電子、華力微電子、矽品科技、士蘭微等，液晶麵板行業的京東方、三（sān）星電子（zǐ）等，LED行（háng）業的三（sān）安（ān）光電、聚燦光電、乾（qián）照光（guāng）電、華燦光電（diàn）等，光（guāng）纖通（tōng）信行業的亨通光電、富通集（jí）團、住友電工，光（guāng）伏行業的通威太陽（yáng）能、天合光能、隆基股份等。

與外（wài）資企業錯位競爭。公司目前的供（gòng）氣（qì）模式以零售供氣為主，中小型現場製氣為輔，氣體品種較全（quán），超純（chún）氨（ān）、高純氧化亞氮等（děng）特種（zhǒng）氣體品質已達到進口（kǒu）替代水平。相比於外資氣體企業以大型現場製氣為主的供（gòng）氣方式，公司銷售的瓶裝氣、儲槽氣可較（jiào）好（hǎo）地滿足廣大中小型企業的用氣需求，從而在細分市場與外資企業形成錯位競爭優勢。

募（mù）投項目提升公司競爭力。公司（sī）向社會公眾公開發行不超過12108.34萬股人民幣普通股，募集資金用於（yú）投資“張家港金宏氣體有限公司超大規模集成電（diàn）路用高純氣體項目”、“蘇州金宏氣體（tǐ）股份（fèn）有限公司（sī）研發中心項目”、“年充裝392.2萬瓶工業氣體項目”、“年充（chōng）裝（zhuāng）125萬瓶工業氣體項目”、“智能化運營項目”和“發展與科技儲備資金”六個項目。募投項目建成後，公司的工業氣體（tǐ）充裝產能和研發生產能力將大大提高，智能化和安（ān）全性水平也將得到提升，有助於（yú）公司搶占市場先機，同時能夠在一定程度上提升公司市（shì）場占有率。

4.4 和遠氣體：華中知名民（mín）營（yíng）專業氣體企業

華中地區知名民營（yíng）專業氣（qì）體企業。公司致力於（yú）各（gè）類氣（qì）體產品的研發、生產、銷售、服務以及工業尾氣回收循環利用，公司經（jīng）營的主要氣體可大致分（fèn）為三類：普通氣體（tǐ）、特種氣體以（yǐ）及清潔能源（yuán）。主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械（xiè）、農業等基（jī）礎行業和光伏、通信、電子、醫療等新興產業對氣體和清潔能源（yuán）的需求。目前，公司銷（xiāo）售服（fú）務網絡覆蓋湖北全境並輻射華中地區，是華中地區知名的綠色環保型綜合氣體專業供應商。

差（chà）異（yì）化技術路線打造公司獨特競爭力。公司除了以空分氣體的生產與銷售為（wéi）業務核心體係外，率先將氣體分離技術應用於以工業尾氣回收循環再利用為核心的環保產（chǎn）業，並成功實施了“興發集（jí）團離子膜（mó）燒堿（jiǎn）尾氫（qīng）回收提純”、“三寧合成氨馳放氣尾氣回收”、“烽火科技尾氦提純循環利用”、“新（xīn）疆晶科單晶矽氬氣尾氣回收（shōu）循環再利用項目（mù）”等一係列項目。為客戶低成本、有效（xiào）的解決了危廢處理，形成資源的循環再利用，同時為公司在工業尾氣回收領域建立（lì）起良好的品牌效應，拓展了市場空間，在市場上形成了有別於其他氣體公司的獨特競爭力。

擁有優質客戶資源。公司經過多年的發展，在華中地區各個（gè）行業積聚了一批優質的客戶。其中工業氣體客戶包括興（xìng）發集團、烽火（huǒ）通信、格力（lì）電器、美的集團（tuán）、晶（jīng）科能源、武（wǔ）鋼（gāng）氣體、三寧（níng）化工等上市公司和（hé）國內知（zhī）名企業；食品級液氮客戶（hù）包括頂津食品、紅牛飲品、百事食品、伊利乳業、匯源果汁、銀鷺集團（tuán）等多家知名食品企業；醫用氧客戶包括武（wǔ）漢兒童醫院、宜昌市（shì）中心醫院等大型醫療機構。與這些優質客戶長期（qī）互信的合作，使公司形成良好的品牌效（xiào）應，從而不斷的提升市場占有率，持續保持區域行業內的領先地位。

業績持續增長。公司營業收入保持穩定增長，2019年（nián）公司營業收入為6.66億元，同比上升6.57%，歸母淨利潤為0.85億元（yuán），同比上升12.17%，其中，公司營收主要貢獻來源為普通氣體，占比超過65%。特種氣體占主營業務收入比例不斷提升，占（zhàn）比由2016年6.55%上升至2019年7.82%，2019年特氣營業收入為5208.91萬（wàn）元。

4.5 雅克科技：半（bàn）導體（tǐ）新材料龍頭企業

半導體新材料龍頭企業。江蘇雅克科技股份有限公司成立於1997年，2010年5月於深（shēn）交所上市。公司以阻燃劑業務為（wéi）基礎，2018年，公司通過外延並購，成功切入半導（dǎo）體封裝材料領域、電子特氣（qì）領（lǐng）域、IC材料等領域，逐步發展成為以新型複（fù）合材料和半導體材料為發展核心的綜（zōng）合型企業。目（mù）前（qián），公司從事的主要業務包括有機磷係（xì）阻燃（rán）劑業務、LNG用保溫絕熱板材業務、矽（guī）微粉業務、半導體化學材料業務以及（jí）電子特氣業務，產品可應用於（yú）家居建材、交通工具、電子元器件、液化51吃瓜网儲運設備、集成電路封裝、半導（dǎo）體設備等方麵。

科美特為國內含氟電子特氣龍頭。雅克科技電子特種氣體主要通過子（zǐ）公司科美特運（yùn）營，公司於2018年收購（gòu）並表。科美特成立於2006年1月23日，專注於含氟類特種氣（qì）體的研發、生產、提純（chún）與銷售。目前具備六氟化（huà）硫產能8500噸/年和電子級四氟（fú）化（huà）碳1200噸/年（nián）。科美特在高（gāo）純度（dù）工業六氟（fú）化硫和電子（zǐ）級四氟化碳的（de）研究方麵處於國內領先的地位，已與國內外（wài）知名的輸配電及控製設備企業建立了長期穩定的合作關（guān）係，主要客戶包括西電集團、平高集團（tuán）、山東泰開、新東北、思源電氣、ABB等。同時通過林德氣體、綠菱氣體、WONIKSMATERIALS等氣體商大量出口至台灣、韓國、美洲（zhōu）以及歐盟等世界各地（dì）。

電子特氣業務快速發展。公司（sī）業績整體（tǐ）呈（chéng）現（xiàn）增長狀態，2019年營業收入為（wéi）18.32億元，同比增長18.42%，歸母淨（jìng）利潤為2.93億元，同比增長120.20%。自並表以來，公司電子特氣業務保持（chí）快速發展，2018年-2019年，公司電子特氣業務營收分別為2.57億元和3.95億元，占公司營業收入比例分別為（wéi）16.6%和21.57%，毛利率水平分別為（wéi）44.35%和50.89%。

4.5 南大光電：國內電（diàn）子材料行業領軍企業

積極布（bù）局多維業務。江蘇南大光電材料股份有限公司成立於2000年，2012年在（zài）創業板（bǎn）上市，公司成立初期主營業務為主要業務高純金屬有機化合物(MO源)的研發、生產和銷（xiāo）售，是全球MO源領導供應（yīng）商之一。公司積極拓展新的領域，通過設立子公司全椒南大光（guāng）電材料有限公（gōng）司，進入了特種氣體領域，其中砷烷、磷烷已經成功量產（chǎn）並供應多家客戶，公（gōng）司正在推（tuī）進光刻膠及配套材料業務和ALD前驅體產（chǎn）品業務。在長期的發展過程中，公司形成了（le）較為完（wán）備（bèi）的研發設計體係，積累了一定的研究成果（guǒ），通過（guò）逐年加大科研力度，技術實力得到不（bú）斷增強，獲（huò）得（dé）多項專利。

收購飛源氣體，拓展公司電子（zǐ）特氣發展空間（jiān）。2019年，公司收購山東飛源氣體有（yǒu）限公司57.97%股權，飛源氣體是國內NF3重要供應商中唯一民企，主要從事三（sān）氟化氮、六氟化（huà）硫及其副產（chǎn）品的生產及銷售，是台積電、中芯國際（jì）、京東方等一線大廠的主要供應商。本次收購對南（nán）大光電電子特種氣體業務的發展具有重要的戰略價值（zhí），有助於發揮南大光電和（hé）山東飛（fēi）源氣體市場互補優勢，實現協同營銷，擴大電子特氣在LCD、IC領域的交叉滲透（tòu）。

業績穩健增長，電子特氣表現亮眼。公司業績保持穩健（jiàn）增長，2019年公司營業收入為3.21億（yì）元，同比增長40.85%，歸（guī）母（mǔ）淨（jìng）利潤為0.44億元，同比增長7.36%，布局的電子氣體（tǐ）業務逐漸成長為支撐公司高速發展的新動力，電子特氣業務占營收比（bǐ）例不斷提高，2019年電子特氣業務營收為1.64億元，同比增長108.81%，占營收比例為50.91%，成為公司新的（de）盈利（lì）增長（zhǎng）點。