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平麵(miàn)平晶(jīng) 具體規格有Ф30mm;Ф45mm;Ф60mm;Ф80mm;Ф100mm;Ф150mm;Ф200mm;Ф250mm;Ф300mm共計九款。
平麵平晶主要和高精度鈉光燈箱配套使用,用於以幹(gàn)涉法檢驗塊規、量規、零件密封麵、測量(liàng)儀器以及測量工具量麵的研合性和平麵度,適用於光學加工廠(chǎng)、廠礦企業計量室、精密加工車(chē)間、閥門密封麵現場檢(jiǎn)測(cè)使用(yòng),也適用於高(gāo)等院校、科學研究等單位做平麵度等(děng)檢測。
測量時,把平晶放在被測(cè)表麵上,且與被測表麵(miàn)形成一個很小的(de)楔角,以單色光(guāng)源照射時(shí)會產生幹涉條紋。幹涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表麵,且平晶與被測表麵間的間隙(xì)很(hěn)小,則由平晶測量麵P 反射的光線與被測(cè)表麵反射的光(guāng)線(xiàn)在測量麵 P 發生幹涉而出現明(míng)或暗的幹涉條紋。若在(zài)白光下,則出現彩色幹涉條紋。如幹涉條紋平直,相互平行(háng),且分布均勻(yún),則表示被測表麵的平麵度(dù)很好;如幹涉條紋彎曲,則表示平麵度不好。其誤差值為,式中(zhōng) 為(wéi)兩幹涉(shè)條紋間距離, 為幹涉條紋的彎曲值, 為光波波長,白光(guāng)波長一般以0.6微(wēi)米計算(suàn)。
當幹涉條紋(wén)平直、互相(xiàng)平行,且又均勻分布(bù)時,則說明其平麵(miàn)度(dù)好;當幹涉條紋不規則、且無規律時,則說(shuō)明其平麵度不好。
平麵平晶的幹涉條紋平直則表示平麵好.如果是彩色光圈一(yī)圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是(shì)多圈則用所看到的(de)圈數乘以(yǐ)0.3則是它的平麵度.如是弧形則(zé)表示是0.3以下
根據幹涉(shè)條紋計算平麵度誤差
1)測量時若出現向一個方向(xiàng)彎曲的幹涉條紋,如圖所示,調整平晶位置(zhì),使之出現3~5條幹涉帶,則(zé)平麵度誤差的近似值為(wéi):
f= (v/w)×(λ/2)
λ為光波(bō)波長,白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm,v為幹涉帶彎曲量,w為幹涉帶間距
但是如何精確確定v和w的值,我也很迷惑!
2)根據光圈計算平麵度誤差
若被測(cè)平(píng)麵(miàn)凹或(huò)凸,則會出現環形幹涉帶,調整平晶的(de)位置,使幹涉帶數(shù)為最少(shǎo),則平麵度誤差的近似值為:
f=(λ/2) ×n
λ為光(guāng)波(bō)波長,白光的平均波(bō)長為0.58μm;n為平晶直徑方向(xiàng)上的光圈數(shù)



