外延設備反（fǎn）應（yīng）氣體（tǐ）冷卻器火（huǒ）災事故
事故概況：
在外延生長設備的排氣係統中安裝的氣體冷卻器進行維護作業時，反應副生成物引發火災，作業人員輕度燒傷，使用（yòng）氣體為單矽烷和氫氣（qì）。
作業由兩名人（rén）員進行（háng），在向氣體冷卻器流入冷卻水後，準備進（jìn）行拆卸。作業員A按住氣體冷卻（què）器本體，作業員B握住氣體冷（lěng）卻器蓋，準備拔出時（shí），氣體冷卻器（qì）內部的反應副生成物發生了火災。
事故原因：
● 操作時冷卻水流量不足
● 反應副生（shēng）成物的體積量（liàng）過大
● 少量水分與反應副生成物（wù）反應導致溫度上升，並因氣體冷卻（què）器法蘭部分摩擦引發火災
事故對策：
外延工（gōng）序
功能性材料的晶體生長成膜工序，需要用於檢測膜材料氣（qì）體、摻雜氣體等的檢測器！
