韓國大德氣體公司日前宣布，Daedeok Gas（韓國大德氣體公司）與日本TOKUYAMA（日本德山株式會社）簽訂三（sān）氯氫矽 (SiHCl₃)項（xiàng）目合作協議，通過合作向韓國乃至整個（gè）亞洲半導體市（shì）場供應高純三（sān）氯氫矽 (SiHCl₃)。新建的群山2號工廠占地（dì）約30000平方米（mǐ），配備了三氯氫矽充裝功能。
TOKUYAMA（德山株式會（huì）社）是日本領先的多晶矽生產商，為主要的半導體生產商供應多晶矽。同（tóng）時，該公司還生產高純度三氯氫矽。韓國大部分特種氣體依賴進口，2019年與日本的貿易爭（zhēng）端導致（zhì）半導體行業不（bú）可或缺的氟化氫氣體供應困難，2022年俄烏（wū）戰爭後稀（xī）有氣（qì）體短缺導致價格飆升。因此，韓國（guó）正在積極擴大該國（guó）特種氣（qì）體種類和產能（néng），這對於穩定該國半導體行業供應供（gòng）應鏈健康發展至（zhì）關重要。但是，在韓國隻有一個高（gāo）純（chún）三氯氫矽充裝工廠，這是一個（gè）潛在的（de）風險（xiǎn）。所以（yǐ），收購大德氣體公司三（sān）氯氫（qīng）矽充裝設施將使韓國國內生產設施多樣化，並為穩定韓（hán）國半導體材料供應鏈和生產設施做出貢獻（xiàn）。除（chú）仁川（chuān）總（zǒng）部外，大德氣體公司還運營著其（qí）他五家工廠，該公司正在（zài）加強特種氣體業務（wù），因為半導體和顯示器對（duì）特種氣體的需求將會越來越大。大（dà）德（dé）氣體2009年建成並運營的（de）群山工廠生（shēng）產氦（hài）氣、高純（chún）氨氣、丙烯、環氧乙烷、滅火氣體以及各種混合氣體（tǐ）。新投入運營（yíng）的群（qún）山第2工廠配備了三氯（lǜ）氫矽 (TCS)、二氯矽烷 (DCS) 和四氯化矽 (STC) 和乙烷的充裝功能，以及甲基三（sān）氯（lǜ）矽烷 (MTS) 和三氯化硼 (BCl3) 的倉儲。Tokuyama表示："通過與大德氣體公司合作，我們將努力支持高純三氯（lǜ）氫矽 (SiHCl₃)業務全球發展，首先從進入韓國市場開始（shǐ）。特種氣（qì）體三氯氫矽用於半導體CVD工藝和EPI工藝（yì）中的矽沉積。目前，德國、日（rì）本和美（měi）國等國家占據全（quán）球市場主導地位。德國瓦克公司（Wacher）、日本德山株式會社（TOKUYAMA）、美國道康寧公司（Dow Corning）等為全球知名電子級三氯氫矽生產商。中國電子級三氯氫矽行（háng）業主要生產企業包括三孚股份、晶星科技、洛陽中矽（guī）和沁陽淩空等。
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