伴（bàn）隨著國（guó）民經濟（jì）的發展，特別是21世紀（jì）後我國電子行業的突飛猛進，國（guó）內特種氣體公司意識到了專有技術的重要性。我國在（zài）特種氣體生產、儲存等領域上取得了重要突破，特別是電子特氣目前基本實現了國產化，基本打破了（le）國外企（qǐ）業的壟斷。
電子氣體分類
| 應用領（lǐng）域 | 工藝 | 產品 |
| IC集成電路及光纖 | 清洗和蝕刻用氣 | C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、SF6、CL2、HCL、CF4等 |
| 成膜氣體 | SIH4、SI2H6、SIHCL3、SIH2CL2、CH4、C3H6 | |
| 摻雜及離子注入氣體 | ASH3、PH3、B2H6、GEH4 | |
| 外延片及LED | LED外延片 | 超高純NH3、三甲基镓（jiā）、ASH3、PH3、H2 |
| 芯片段 | CL2、BCL3、SF6、N2O | |
| 藍寶石及PSS | BCL3 | |
| 太陽能電池 | 單、多晶矽生產 | SiH4、CF4、NH3、高純CO2 |
| 薄膜太陽能電池 | SIH4、TMB、GEH4、DEZ、CH4、PH3 | |
| 銅銦镓硒太陽能電池 | H2SE、SO2 | |
| LCD及AMOLED | — | SIH4、N2O、NF3、SF6、CL2、CO2、PH3+H2、HCL+H2+NE、BF3、NH3 |
近年來我國微電子、光電子等電子信息產業高速發展，促使這一（yī）塊所需使用（yòng）氣體的飛速（sù）發展。由於微電子、光（guāng）電子產業對氣體的使用（yòng）要求極高，所以我們特將這個領域所（suǒ）使用的（de）特種（zhǒng）氣體叫電子（zǐ）特氣。電子特氣的使用行業主要有太陽能電池片、半導（dǎo）體發光（guāng）二極管（LED）、液晶麵板、光纖、IC、半導體（tǐ）分立器件、線路板等高精尖行業（yè）。
隨（suí）著我國工業的（de）發展和改革開（kāi）放的不（bú）斷深（shēn）入，主要跨國氣體公司（sī）都紛紛進入中國，美國空氣化工、法國液化空氣、德國林德、普萊克斯（sī）、日本（běn）大陽日酸、日商岩穀氣體公司等已占領我國部分特氣市場，尤其是電子氣體市場（chǎng）， 合資和（hé）獨資的半導體集成電路（lù）企業生產工藝中所使用（yòng）的電子氣體被這些國外氣體公司所壟斷，這與半導體集成電路對氣（qì）體（tǐ）質量、供應的特殊要求有關。
但我（wǒ）國電子氣體行（háng）業在2006年後進入快速發（fā）展階段。特別是在2010年以後，國內電子氣體市場不斷攻破國外的技術壟斷，矽烷、超純氨等（děng）等（děng）重要特種氣體進入國產化時代，我國電子氣體依賴（lài）進口（kǒu）的局麵也在被迅（xùn）速打破。目（mù）前國內電（diàn）子氣體市場（chǎng）潛力巨大，半導體、光（guāng）伏（fú）等行業的發展保證了電子氣體的旺盛需求，國內廠家也在不斷加大電子（zǐ）氣體的研發投入，可以料想（xiǎng）的是國內電子（zǐ）氣體市場的發展將無可限量，同時也（yě）將是工業（yè）氣體市場良好的增（zēng）長點（diǎn）。
