注意!電子特種氣體係統！安全運行與管理須知？

隨著國內半導體及光伏（fú）行業的（de）快速發展，對於高純氣體尤其是高純（chún）特種氣體的需求量及氣體質量（liàng）要求越來越高。

但特種氣體（tǐ）大（dà）都具（jù）有有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高（gāo）氧化性等性質（zhì），如（rú）H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、穩（wěn）定、可靠地貯存和輸送特種氣體越來（lái）越受到重視。下麵我們來談談特氣安全運行與管理中需（xū）注意的事項。

1.嚴格按照安全操作規程作業

其實（shí）特氣係統在投入（rù）使用前，安全的設計理念已（yǐ）貫穿其中，並且（qiě）特氣（qì）係統的操作和維護都有（yǒu）相應的標準操作規程。比如：特氣係統（tǒng）日常操作如換瓶、維護等都要雙人作業，通過監（jiān）督以確保人員（yuán）每一步操作遵照安全步（bù）驟進行。但盡管如此，特氣事故還是時（shí）常發生。

事故統計表明，人的因素，是導致事故發生（shēng）的重要因素幾乎所有的特氣責（zé）任事故都是（shì）由於操作人員沒有嚴格按照操作規程來（lái）作業（yè）。

特氣運行管理（lǐ）人員必（bì）須取得危（wēi）險化學品管理安（ān）全資質、壓力容（róng）器及壓力管道作業資質，另外相關（guān）人（rén）員還需要經過專業（yè）的特氣設備操作維護運行及異常（cháng）處理的專業培訓後方可上崗作業。

值得注意的是，很多特氣（qì）事故往往都是具備（bèi）一定經驗的熟練運行人員造成的。究其原因是運行人員度過了新手對特氣的恐懼階段，並（bìng）感覺掌（zhǎng）握了特氣的專業知識，因此在（zài）特氣作業過程中精神不集中，跳過安全操作（zuò）規（guī）程的某些步驟，最（zuì）終導致事故發生。

2.注意特氣係統狀（zhuàng）態及儀表數（shù）值（zhí）變化

在特氣運行管理（lǐ）中非常重要的一個關（guān）鍵詞是“變化”。

通常情況下，特氣係統在發生故障（zhàng）之前（qián）或者已經發生故障卻無報警產生（shēng）時，從係統狀態或儀表數值變化的情況可以發現異常。

運（yùn）行人員每天需對（duì）特氣係統進行數次點檢和巡檢。特氣係統狀態及儀表的數值（zhí）是（shì）點檢及（jí）巡檢的重要內容（róng），如壓力、溫（wēn）度、重量等，還包括所有氣體偵測器的檢測數值。在標準的點檢表中，特氣儀表（biǎo）數值都有一個管理值。運行人員在點檢過程中察看各個數值（zhí）是否在管（guǎn）理值範圍內，如超出（chū）管理值，則必須馬上（shàng）查找原因。

值得注意的是（shì），作為特氣運行人員需對特氣係統狀態變化有足夠的敏感度，某些數值變化即使在管理值內，也要分析其變化的合理（lǐ）性。另外，係統狀（zhuàng）態及儀表數值雖然在管理值範圍內但一（yī）直無變化，也是一種異常表現，需檢（jiǎn）查傳感器（qì）等電（diàn）子元件是否已經失靈。

3.特氣泄漏應急處（chù）理

特氣（qì）運行現（xiàn）場（chǎng）都有針對每（měi）種特氣泄漏的緊急響應程序。ERT成員（yuán）也需要定期進（jìn）行特氣泄漏的（de）培訓和演練。

通常情（qíng）況下，出現特氣報警後ERT按照緊急響應程序需要按以下幾（jǐ）個主要步驟（zhòu）進（jìn）行（háng）動作：

（1）通知負責人或協調者，緊急疏散、人員搜救，同時在確保人員安全的情況下切（qiē）斷氣源、開啟強製排風。

（2）確（què）認泄漏及特氣溢出量，確定報警級別是否下降或維持。

（3）事故評估以及分區。

（4）根據（jù）氣體決定PPE及ERCV緊急反應安全容器。

（5）進入該區域（yù）處理（lǐ）泄漏和特氣溢出。

（6）現場清理。

值得注意的是不管是人員搜救或是處理泄漏任何人（rén）不（bú）得單獨行動。在根據調查（chá）的泄（xiè）漏信（xìn）息進行分區時需注意風向（xiàng）和風速。泄漏區域（yù）為（wéi）熱區。根據泄漏特氣種（zhǒng）類和泄漏（lòu）量決（jué）定暖區。設備和ERT成員在冷區。對於腐蝕性特氣（qì）泄（xiè）漏的情況，泄漏區域需要淨化。

泄漏事（shì）故處理（lǐ）完畢後，還需（xū）要調查整個泄漏細節及汙染程度，同時分析特氣泄漏的根本原因，找出對（duì）策及防治措施。

隨著半導體集成電路（lù）、光伏等行業（yè）的國內外市場需求擴大（dà），特氣的用量會進一步擴大，對特氣的品質要（yào）求也會越來越高（gāo）。所以，特氣輸送係統安全穩定運行是企業（yè）今後發展不能忽視的環節。在特（tè）氣（qì）輸送係統進行設計時，要全麵（miàn）考慮安全問（wèn）題，盡量實現設備自（zì）動化，減少人工操作（zuò）。在特氣輸送係統構建時，做到嚴格按（àn）照安裝要求進行施工管理，特氣設備運行後（hòu），進行有效的運行管（guǎn）理，特氣泄漏風險將能極大地降低。

以上就（jiù）是為大家簡單整理的特氣安全運行與管理中需注意的事項，希望能給大家提供參考，感謝您的閱讀。