工業氣體：工（gōng）業“血液”

工業中，把常溫常壓下（xià）呈氣態的產品統稱為工業氣（qì）體。工業氣體是現代工業（yè）的（de）基礎 原材料，在國民經濟中有著重要的（de）地位和作用（yòng），工業氣體行業原材料是空氣、工業（yè）廢氣、 基礎化學原料等，其上遊行業是（shì）氣體分離及純化設備製造業、基礎化學原料行業、壓（yā）力 容器設備製造業等。下遊領（lǐng）域包括集成電路、液晶麵（miàn）板、LED、光纖通（tōng）信（xìn）、光伏、醫療 健康（kāng）、節能環保、新材料、新能源、高端裝備製（zhì）造（zào）等新興（xìng）行業以（yǐ）及冶金、化工、機械製（zhì） 造等（děng）傳（chuán）統行業，對國民經濟的（de）發展有著戰略性的支持作用，因此被喻為“工業的血（xuè）液”。

根據製（zhì）備方式和應用領域的不同，工業氣體可分為大宗氣體和特種氣體，大宗氣體 主要包括氧、氮、氬等空分氣體及乙（yǐ）炔、二氧化碳等合成氣體，特種氣體品種較（jiào）多，主 要包括電子特種氣體、高純氣體和標準氣體等。

特種氣體：現代（dài）工（gōng）業（yè）“糧（liáng）食”

特種氣體（tǐ）是工業氣（qì）體中的一個新興門類，是隨著近年來國防工業、科學研究、自（zì）動 化技（jì）術（shù）、精密（mì）檢測（cè），特別是微電子技術（shù）的發展而發展（zhǎn）起來的。20 世紀 80 年代，電子產 業的興（xìng）起推動特種氣體（tǐ）的需（xū）求提高，外資開始通過（guò）收購、新設等方式建立氣（qì）體公司進（jìn）入 中國氣體市場（chǎng），向國內氣體用戶提供（gòng）氣體產品，隨（suí）著氣體供應商供氣模（mó）式（shì）的引（yǐn）入，國內 企業原有的氣（qì）體（tǐ）車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨立的（de）氣體公司，國內特種（zhǒng）氣體市 場逐（zhú）步發展起來。

從應用領域劃分，特種氣體主要有（yǒu）電子氣體、高純氣體和（hé）標（biāo）準氣（qì）體三種，廣泛應（yīng）用 於電子半（bàn）導體、化工、醫療、環保和高端裝備製造等領域。其中，電子氣體（tǐ）是指用於半 導體及其它電（diàn）子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量（liàng）與 發（fā）達國家相比，尚有（yǒu）較大差距；高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純（chún） 度的氣體（tǐ），對於不同類（lèi）別的氣體，純度指標不同，大多用於超大規模集成（chéng）電路及分離器 件、光電子等高科（kē）技領域；標準氣體嚴格意義上應稱為（wéi）標準校正氣體，是一種高度（dù）均勻， 穩定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和（hé）多元標（biāo）準氣體（tǐ），目前標（biāo）準氣基本 滿足了我國石油、化工、環（huán）保、傳感器（qì）校核等諸多領域的需求，但對活性較強的標準氣， 國內尚無（wú）法徹底解決量（liàng）產問題。

在 2018 年我（wǒ）國特種氣體（tǐ）年銷售額（é）中，電子行業（yè）約占 41%，石（shí）油化（huà）工約占 39%，醫療 環保約占 10%，其它約占 10%。

電（diàn）子氣體：電子工業“血液”

廣義的“電子氣體”指可用於電子（zǐ）工業生產中使用的氣體，是最重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指（zhǐ）可用於電子半導體領域生產的（de）特種氣體（tǐ）。電子氣體可（kě）以（yǐ）分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品製程工（gōng）藝中廣泛應（yīng）用於離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成（chéng）電路、液晶麵板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和（hé）“源”。

電子氣（qì）體地位日益凸顯

近年來，隨著電（diàn）子工業的快速發展，電子氣體在半導（dǎo）體行業中的（de）地位日益凸顯。在 微電子、光電子器件生（shēng）產過程中，從單個芯片生成到（dào）最後器件的封裝，幾乎每一步、每一個環（huán）節（jiē）都離不開電子氣體，在（zài）不同的電子應用（yòng）領域中，電子特種氣體和電子大宗氣體 的成本占比略有不同。其中，集成電路領域，電子特種氣體和電子（zǐ）大（dà）宗氣體各自占比 50%。電子氣體的（de）質量很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度（dù）每提（tí）高 一個數量級，都會極大地推動半（bàn）導體器件質的飛躍。

電子（zǐ）氣體是（shì）僅次於（yú）大矽片（piàn）的（de）第二大市場需求半導體材料，電子氣體（tǐ）在 2016 年（nián）的半 導體材料市場占比達（dá） 14%。隨著半導體產業的發展，電子氣體市場也隨之增長。

電子特種氣體的下遊應用領域主要為電子半導體領域（yù），具體又分為光伏、光纖通信、 LED、液晶麵板和集成電路，電子特氣（qì）市場需求與下遊產業景氣度關聯度較高（gāo）。2018 年 中國（guó）集成電（diàn）路、顯示麵板、光伏三大下遊對電（diàn）子特氣的需求占比超過 90%。

電子特氣在電子產業的應用

1）電子氣體在集成電路（lù）領域的（de）應用

特種氣體是半導體材料（liào）製造過程不可缺少的基矽性支撐材料，處於半導體產業鏈的 上遊，被稱為（wéi）半導體的“源”，主要應用於薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積（jī）、擴散等工藝（yì）。

化學（xué）氣（qì）相沉積(CVD)：是通過氣體混合的化學反應，在矽片表麵沉積一層固體膜的 工藝，通常包括氣體傳輸至沉積區域、膜先驅物的形成、膜先驅物附著在矽片表麵、膜 先驅物粘附、膜先驅物擴散、表麵反（fǎn）應、副產物從（cóng）表麵移除、副（fù）產物從反應腔移除（chú）等八 個主要步驟。化學氣相沉積（jī）常用的特種氣體包括（kuò）:SiH4、DCS、TCS、SiCl4、TEOS、NH3、 N2O、WF6、H2、O2。

刻蝕：是采用化學和物理方（fāng）法，有選擇地從矽片（piàn）表麵去除不需要的材料的過（guò）程，刻（kè） 蝕的（de）目的是在塗膠（jiāo）的矽片上正確地複製掩膜圖形，可分為（wéi）濕法刻蝕和幹（gàn）法刻蝕。矽片的 刻蝕氣體主要是氟（fú）基氣體，包括 CF4、CF4/O2、SF6、C2F6/O2、NF3 等，但由於其各向（xiàng）同 性（xìng），選擇（zé）性較差，因此改進後的刻蝕（shí）氣體（tǐ）通常包括氯基(Cl2)和溴基（jī）(Br2、HBr)氣體。 鋁和金屬複合層的刻蝕通常采用氯基（jī）氣體，如 CCl4、Cl2、BCl3 等。

摻雜：是將需要的雜質摻入特定（dìng）的半（bàn）導體區域（yù）中，以改變（biàn）半導體電（diàn）學性質，形成 pn 結、電阻、歐姆接觸等。常用的三價摻雜（zá）氣體有 B2H6、BBr3、BF3 等，常（cháng）用的五價摻 雜（zá）氣體有 PH3、POCl3、AsH3、SbCl5 等。

2）電子氣體顯示麵（miàn）板領域應用

薄膜晶體（tǐ）管（TFT）和液晶顯示器（LCD）具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、 全彩化、速度快、對比度（dù）和亮高、屏（píng）幕觀察角度大、分辨率高等（děng）優點，是目前主流的（de）平 麵顯示設備。TFT/LCD 的生產包括 TFT 陣列(包括薄膜、光刻、刻蝕)、彩色濾光片(包 括黑矩陣膜、紅綠藍膜、透明導電層)、麵板、模組（zǔ）等工序。薄膜工序，通過化學氣相（xiàng） 沉積，在玻璃基板（bǎn）上沉積 SiO2、SiNx、a2Si、n 型 a2Si 薄膜，使用的特種氣體有 SiH4、 PH3、NH3、NF3 等；幹法刻蝕工序，在等離子氣態氛圍中選擇性腐（fǔ）蝕基材，通常采用 SF6、 HCl、Cl2 等氣體。

3）電子（zǐ）氣體（tǐ）在太陽能電池中的應用

太陽能電池（chí）分為晶體矽太陽能電池和薄膜太陽（yáng）能電池，薄膜太陽能（néng）電池分為非晶（jīng）矽 (a-Si)薄膜和非晶/微晶矽(a-Si/μc-Si)疊層薄膜。晶體矽（guī）電池片生產（chǎn）中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；非晶矽（guī）太陽（yáng）能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工（gōng）序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶矽沉（chén）積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

下遊需求旺盛，引領（lǐng）特氣行業高（gāo）增長

下遊產業發展迅速，引領特氣行業高增（zēng）長

我國特種氣體行業在（zài） 2006 年後（hòu）進入快速發展階段，廣泛應用於集成電（diàn）路（lù）、顯示麵 板、光（guāng）伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和醫療（liáo）等新興產業領域，在《十（shí） 三五國家戰（zhàn）略新（xīn）興（xìng）產業發展規劃》等產業政策的推動（dòng）下，特種氣體的下（xià）遊產業迅速發展， 同時產業創新（xīn）、技術迭代帶來新工（gōng）藝和新產品等，不（bú）僅（jǐn）在規模（mó）上增加了特種氣體的需求， 也進一步拓寬了特種（zhǒng）氣體的（de）應（yīng）用領域，不斷產生新（xīn）的特種氣體產品需求（qiú）。

1）半導（dǎo）體行業：產業（yè）鏈（liàn）向（xiàng）國內轉移，市（shì）場持續增長

半導體產（chǎn）業向國（guó）內轉移。從區域（yù）分布看，根據 WSTS 統（tǒng）計數（shù）據，亞太地（dì）區市場規模 占全球市場的比例不斷提高，亞太與日本市場（chǎng）合計約占全球半導體市（shì）場的 70%左右， 2017 年，全球半導體市場規模為（wéi） 4122.21 億美元，同（tóng）比增長 21.6%，2018 年全球（qiú）半導 體市場保持增長（zhǎng）勢頭（tóu），市場規模達到 4779.40 億美元，同比增長（zhǎng） 15.90%；從芯片銷售（shòu） 額看，根據 WSTS 發布的數據，2016 年中國半導（dǎo）體消費額 1075 億美元，占全球總量的 32%，已成為全球最大的半導體消（xiāo）費市場。隨著國內製造業環節快（kuài）速發展，以及國內巨 大的消費市場和勞動力人口優勢，半導（dǎo）體產業將加快向國內轉移，世界市場份額不斷向 中（zhōng）國集中。

半（bàn）導體行業持續增長。全球半導（dǎo）體市場規模（mó）近年來（lái）增速平穩，2012-2018 年複合增 速 8.23%。其中，中國大陸集成電路（lù）銷售規模從 2158 億元迅速增長到 2018 年的 6531 億元，複合增速（sù）為 20.27%，遠（yuǎn）超全球其他地區，全球半導體產業加（jiā）速（sù）向大陸轉移（yí）。2014 年國家發布了《國家集成電路產業發展推進綱（gāng）要》並設立了（le）投資產業基金，根據規（guī）劃我 國集成電（diàn）路銷售額平均增速將保持在 20%，因此（cǐ）半導體集成電路電子用氣市場規模有望 快速增長（zhǎng）。

2）顯示麵板行業：尺寸大型化發展，市場平穩增長

全球顯示（shì）麵板行業穩定（dìng）增長。全（quán）球平板（bǎn）顯示產業保（bǎo）持（chí）平穩增長，業態發展呈（chéng）現尺寸 大型化、競爭（zhēng）白熱化、轉移加速化（huà）和產品定製化等特點（diǎn），受益於電視平均尺寸增加以（yǐ）及 大屏手機、車（chē）載顯（xiǎn）示和公共顯示等需求的拉動，根據 IHS 預測，2016 年-2025 年全球新 型顯示麵板需求麵積的 CAGR 預計將（jiāng）達 4%，到 2025 年增長至 2.66 億平方米。

我國麵板顯（xiǎn）示行業市占率不斷提升。受（shòu）益於國家政策的支持，我國麵板顯示行業逐 漸發展起來（lái），在全球的市（shì）占率也（yě）逐步提高，2011 年中國大陸大尺寸麵板占全球比（bǐ）例約 為 1%，經過多年的發展，2018 年（nián）上升至 42%，大尺寸麵板產能為 78.9 百萬（wàn）平方米/年， 預計 2020 年達到 125.9 百萬平方米/年。

LCD 市場，近年來我國麵板廠商繼續加快高世（shì）代液晶麵板生產線的建設與投產， 2019-2021 年將有 8 條（tiáo）產線陸續投（tóu）產，合（hé）計產能超過 6000 萬平方米，預（yù）計到 2021 年中 國將占到全球 58%的市場份額。在 OLED 市場方麵，目前是韓（hán）國占據主導地位，但國內麵板廠商近年來不斷提高 OLED 技術，同時加快布局 OLED 生產線（xiàn）。預計未來國內 OLED 麵板產能（néng）將會得到快速的釋放，據 DSCC 預測，中國 OLED 麵板市場份額到 2025 年（nián）將會 快速增長至 43%。

3）光伏（fú）行（háng）業：國家政策支持，市（shì）場快速增長

中國光伏產業起步較晚但呈現迅速發展的勢頭。2010 年後，在歐洲經曆光伏產業（yè） 需求放緩（huǎn）的背景下，我國光（guāng）伏（fú）產業迅速崛起，成為全（quán）球光伏產業發展的主要動力，2018 年全國新增光（guāng）伏並網裝機容量達（dá）到 44GW，同（tóng）比下降 17%，累計光伏裝機（jī）並網容量超過 174GW，2019 年（nián），我國（guó）新增光伏並網裝（zhuāng）機容量達到 30.1GW，同（tóng）比（bǐ）下降 32.0%，累計光伏 並網裝機（jī）量達到 204.3GW，同比增長 17.1%，盡（jìn）管在政策調整下，整體光伏市場有所（suǒ）下 滑，受益於海外市場的增長，我國光伏產業規模穩步擴大、技術創新不（bú）斷推進、出口增 速不斷提升。自 2013 年至（zhì） 2019 年我國新（xīn）增（zēng）和累計裝機容量均為全球第一，預計（jì） 2020 年光伏新增裝機量超過 35GW，較 2019 年有所回升，累（lèi）計裝機有望達到約（yuē） 240GW。

氣體市場持續發展

全球工業氣體（tǐ）市場（chǎng）近年（nián）來呈現穩（wěn）步增長的態勢，2018 年全球工業氣體市場規模約 為 1220 億（yì）美元（yuán）。目前，全球工業氣體需求的主要市場（chǎng）仍然是（shì）北（běi）美和歐（ōu）洲，但增速（sù）顯著（zhe） 放緩；亞太地區近年來發展很快（kuài），已成為拉動全球（qiú）市場增長的主要引擎。

我國工業氣體行業在 80 年代末期已初具規（guī）模，到 90 年代後期開始快速發展。近年 來（lái）我國工業氣體行業發展迅速，市場規模由 2010 年的 410 億元上升至 2018 年的 1350 億元，2010-2018 年年均（jun1）複合增長率達到 16.05%。與（yǔ）發達國家相比（bǐ），我國人均工業氣體 消費量還（hái）處在較低（dī）水平，根據 2018 年的人均（jun1）工業氣體消費量（liàng）統計，我國的人（rén）均工業氣 體消費隻有（yǒu）美國的（de） 1/26，不足西歐與澳洲的 1/20，與南（nán）美和東歐國家也有較大差距， 未來仍有很大的發展潛力。

新（xīn）興分散用（yòng）氣市場逐漸興起（qǐ）。工業（yè）氣（qì）體市場較為複（fù）雜，可大致分為大宗集中用氣市 場和新興分散（sàn）用氣市場，其中大（dà）宗集中用氣市場主要是傳（chuán）統行業，包括冶金、煉化和煤 化工等，對氣體需求品種單一且使用量巨大，而新興（xìng）分散用氣市場主要是高新技術產（chǎn）業， 包括電（diàn）子製造、光伏和生物醫藥等。鋼鐵（tiě）、化工等（děng）傳統大（dà）宗用氣（qì）市場規模相（xiàng）對較為穩定， 用氣品類也較為單一，新興分（fèn）散零售市場（chǎng）用氣數量和種類在工業氣體應用中占比（bǐ）越來越 高，由 2007 年（nián）占比 40%提升至（zhì） 2015 年 52%，有（yǒu）逐漸超過傳統行業用氣市場需求的趨勢。

全球特種氣體行業保持平穩（wěn）增長態勢。全球特種氣體市場規模由 2010 年 200 億美 元增長至（zhì） 2018 年 421 億美元，年均複（fù）合增長率為 9.75%。根據前瞻產業研（yán）究院預測， 未（wèi）來數年全球特種氣（qì）體市場規模將以年均 9%的速度增長，預計 2024 年全（quán）球特種氣體（tǐ）市 場（chǎng）規模將達到 706 億美元。從地區分布來看，美洲是全球特種氣體市場規模最大的地區， 占比約為 45.17%，其次為歐（ōu）洲、中（zhōng）東和非洲市（shì）場占比（bǐ） 31.40%，亞太地區占比（bǐ）最小為 23.43%。預計至 2020 年，亞太地區特（tè）種氣體需求（qiú）增長最快，市場規模（mó）將達到 168 億美 元，所占（zhàn）比重提升至（zhì） 25.80%；美洲地（dì）區需求增長有所（suǒ）放緩，市場規模為 253 億（yì）美元， 占比降至 38.90%。

我國特種氣體行（háng）業市場規模呈現穩（wěn）定上升（shēng）趨勢。特氣行業市場規模由 2010 年 118.14 億元（yuán）增長至 2018 年 296.49 億元，年均（jun1）複合增長率為（wéi） 12.19%，預計未來五年我 國（guó）特種氣體市場持續增長，2019-2024 年特種氣體市場增速可以達到 12%左右，2024 年 市場規模（mó）中性預測可達 1087 億元，保（bǎo）守預計將達到 915 億元。

我國（guó）電（diàn）子特種（zhǒng）氣體市場規模保持快速發展。電子（zǐ）特氣市場規模由 2010 年 38.99 億（yì） 元（yuán）增長至 2018 年 121.56 億元，年均複合增長率（lǜ）為（wéi） 15.21%，電子特氣（qì）市場規模占（zhàn）我國 特氣市（shì）場規模的（de）份（fèn）額也在（zài）逐步提升，2018 年占比達到 20.8%。從細分領域來看，應用於 半導體（tǐ）領域的電子特氣市場規模占比不斷提高，2018 年（nián）半導體領（lǐng）域需求市場規模達 85 億元。2014 年《國家集成電路產業發展推進綱（gāng）要》提出到 2020 年集成（chéng）電路全行業銷售 收（shōu）入年均增速超過 20%，隨後國家出台一係列相關（guān）產業政策支持集成電路行業的發展， 未來集成電路行業將持續（xù）保持增長，預計到 2024 年我國（guó）電子特氣市場規模將（jiāng）會達到 230 億元。

外企寡頭壟斷，國產化勢在（zài）必行

行（háng）業具有（yǒu）較高的進入門（mén）檻

特氣行業具有較高的進入壁壘。特種（zhǒng）氣（qì）體在其生產過程中涉及合成、純化、混（hún）合氣 配製、充（chōng）裝、分析檢測和氣瓶處理等多項工（gōng）藝技術，以（yǐ）及客（kè）戶對純度、精度等的高要求， 對行業的擬進入者形成了較高的技術（shù）壁壘。除較高的技術壁壘（lěi）外，特種氣體行業還存在 著客戶認證壁壘、資金（jīn）壁壘、市場壁壘、資質壁壘（lěi）以及人才壁壘，因此（cǐ），由於行業較高 的進（jìn）入（rù）門（mén）檻，我國高端特種氣體市場一直（zhí）被幾家外資氣體巨頭公司所占據，雖然在傳統 及中低端產品（pǐn）方麵，我國已經形成了規模優勢，但在高端氣體尤其是特氣（qì）方麵，我國的 差距還是（shì）比較明（míng）顯。

外企寡頭壟斷，市場高度集中

經過多年的發展（zhǎn）和兼（jiān）並收購，全球工業氣體市場多頭壟斷的市（shì）場格局（jú）。2018 年 10 月 23 日，德國林德集團官方宣布與美國普萊克斯集（jí）團完成對等合並，成為（wéi）全球最大的 工業氣（qì）體（tǐ）業務供應商，合並後三大氣體巨頭林德集團（tuán）、液化空氣、空（kōng）氣化工占據全球工 業氣體外包市場 76.71%的份額，市場高（gāo）度集中。

全球半導體（tǐ）用電子氣體市場中，2018 年，空氣化工、林德（dé）集團、液化空氣和大陽 日酸等四大（dà）公司控製著全球 90%以上的市（shì）場份額，形成寡頭（tóu）壟斷的局（jú）麵。在國內市場， 海外四大氣體巨頭控製了我國電子特氣市場 88%的份額，國內氣體公司市場份額合計僅 占 12%，國內企業占比較低。國內電子氣體起步較晚，在技術上與國外有一定差距，目（mù） 前一些電子氣體實現了國產化，如超純氨、氧化（huà）亞氮、氟碳類（lèi）氣體等，但包括氦氣在內 的大多數（shù）電子氣體仍以進口為主，未來我國電子（zǐ）氣體進口替代空間（jiān）較大。

政策大力支持，國產化勢（shì）在必行（háng）

國家產業政策支持助（zhù）推行業快（kuài）速發展。特種氣體作為關（guān）鍵性材料，應用廣泛，特別 是在集成電路、顯示麵板、光伏（fú）能源和（hé）光纖光纜等新（xīn）興領域發揮重要作用。近年來特氣 行業得到國家政策的大力支持，國（guó）家發改委（wěi）、科技部、工信部和財政部等多（duō）部（bù）門相繼出 台多（duō）部新興產業相關政策（cè），均明確提及並部署了（le）氣體產（chǎn）業（yè）的發展，並且對於特種氣體確 立了其新材料產業屬性，有力推動了氣體產業的發展。

國內（nèi）特種氣（qì）體發（fā）展（zhǎn）的初期由於技術、工藝、設備等多方麵差距明顯，產品大多依（yī）賴 進口。從特種氣體進（jìn）出口（kǒu）金額來看，我國進口金額遠遠大於出口金額，2017 年，我國特種氣體進口金額為 125.85 億美元，出口金（jīn）額為（wéi） 8.57 億美元（yuán）。隨著技術的逐步（bù）突破， 國內氣體公司在電光源氣體（tǐ）、激光氣體、消（xiāo）毒氣等領域發展迅速，但與國外氣體公司相 比，大部（bù）分國內氣體公司的供（gòng）應產品仍較為（wéi）單一（yī），用（yòng）氣級別不高，尤其（qí）在集成電路、顯（xiǎn） 示麵板（bǎn）、光伏能源（yuán）、光纖光纜等高端領域，相關特種氣體產品主要依賴進口。隨著國內 這些（xiē）下遊新興產業的技術更迭和快速發展（zhǎn），而且特種氣體作為危險化學品，產品包裝、 運輸有嚴格的（de）規定，相（xiàng）較於國外企業（yè），國內特種氣體企業物流（liú）成本更（gèng）低，供（gòng）貨更及時， 同時國內產品價格具（jù）有明顯的優勢，因此，特種氣體國產化（huà）是未來行業發展的必然趨勢。

我國特種氣（qì）體市場中，國內氣體企業雖然（rán）數量眾多，但普遍規模較小，且一般為區 域性企業，截至 2017 年底（dǐ），我國特種氣體（tǐ）行業規模以上企業數（shù）量達到 211 家，較上年 增加 4 家，保守（shǒu）估計 2018 年我國特種氣體企（qǐ）家數量為 225 家。國內主要企業有中船重 工七一八所、黎明化工研究院（yuàn）、綠菱氣體、金宏氣體、南（nán）大光電（diàn）和華特氣體。盡管與國 際氣（qì）體公司相比，國內氣體（tǐ）公司（sī）在資金、技術、設（shè）備等方麵仍有差距，但在技術不斷突 破、國家政策大力扶持、下遊市場發展（zhǎn）迅速等（děng）多重因（yīn）素影響下（xià），加上國內企業擁有的國 際企業無法比擬的低成本、貼近客戶、反應靈活等優勢，國內氣體企業的競爭力將不斷 增強，市（shì）場份額有望（wàng）擴大（dà）。

相關企業分析

華特氣體：特種（zhǒng）氣體國產（chǎn）化先行者

核心技術打破（pò）特氣進口製約，訂單實現增長。廣東華特氣體股份有限公（gōng）司創建於（yú） 1999 年，主營業務以特種氣體的（de）研發、生（shēng）產及銷售（shòu）為核心，以普（pǔ）通工業氣體和（hé）相關氣 體設備與工（gōng）程（chéng）業務為輔。公司的特種氣體產品至今已有約 230 餘種，率先實現了包括高 純四氟化碳、高純六氟乙烷（wán）、光刻（kè）氣、高純二氧化碳等近 20 種產品的進口替代，是中 國特種氣體國產化的先行者。同時，公司向下遊半導體客戶持續導入新產品以及下遊（yóu）客（kè） 戶開始擴產，如中芯國際的寧波中芯、中芯南方、紹興中芯等多條產線量產，華虹宏力 無錫生產線量產，長江存（cún）儲、華潤（rùn）微電子重慶生產線擴產，特種氣體從此（cǐ）類半導體領域（yù） 的老客戶中的銷售收（shōu）入將實現增長。

客（kè）戶（hù）資（zī）源優質，境內（nèi）外業務兼顧。公司擁有國內一線客戶，進入國際（jì）半導體供應鏈。 公司的（de）客戶可分為為終端客戶和（hé）氣體公司，終端客戶以集成電路等半（bàn）導（dǎo）體領域為主，主 要包括中芯國際、華虹宏力、華潤微電子等國內知名客戶等；氣體公司客戶以海（hǎi）外大型 氣體公司為主，包括液化（huà）空氣集團（tuán）、普（pǔ）萊克斯集團、大陽日酸株式會社、林德（dé）集團（tuán）等。 公司注重海外業務的拓展，是國內（nèi）最早從事氣體（tǐ）進出口業（yè）務的（de）氣體企業之一，在氣體出 口規模上處於國內領（lǐng）先地位。2016-2018 年，公司的境外主營業務收入分別為 1.50 億 元、1.32 億元、1.60 億元（yuán），占主營業務收入的比例分別為 23.10%、16.90%、19.76%。

產能陸續投放，保（bǎo）障公司發展。華（huá）特氣（qì）體於 2019 年底在科創板上市，公司本次公 開發行（háng）股票不超過 3000 萬股，計劃募集（jí）資金（jīn） 4.5 億元，公司擬投資 3.48 億元用於氣體 中心建（jiàn）設及倉（cāng）儲經營項目，根據測算，項目達產後可新增營收（shōu） 3.32 億元，內部收益（yì）率（lǜ） 為 18.25%，投資回收期為 7.58 年。公司擬投資 0.9 億元開展電子（zǐ）氣體生（shēng）產純化及工業 氣體充裝項目。根據測算（suàn），本項目建設期為 36 個月，項目達產後可新增營收 1.73 億元（yuán）， 項目內部收益（yì）率為 21.29%，投資回收期為 6.43 年。此外，公司還擬投資智能化運營項（xiàng） 目提升公司智能化管理水平、運營效率及產品安全（quán）性水平，補充流動資金以增強（qiáng）公司的（de） 運營（yíng）能力和市場競爭力。

昊華科技（jì）：電子特氣行業領軍者

重組 11 家化工（gōng）研（yán）究院實現整（zhěng）體上市。公司的前身天科股份，以碳一化學技術及催 化劑（jì）的生產銷售為主營業務，於 2001 年 1 月在（zài）上交所掛牌上市，2018 年，公司收（shōu）購晨 光院（yuàn）、黎明院、西北院、光明院、曙光院、沈陽院、海化院、大連院、錦西院、株洲院 和北方院 100%股權，公司業務（wù）範圍（wéi）及結構實現拓展、優化，從以提供技術服務為主導 的業務模式（shì）轉（zhuǎn）變為以產品、研發、生產及（jí）銷售一體化發展的經營模式，主營業務為氟材 料、特種氣體（tǐ）、特種橡塑製品、精細化學品和技術服務五大板塊。重組後公司（sī）轉型升級 為先進材料、特種化學品及創新服務提供商。2019 年（nián） 6 月，公司更（gèng）名為昊華科技。

電子特氣技術領先企業。公司子公司黎明（míng）院是最早從事六氟化硫研發的企業，亦是 國內僅有的高純度六氟（fú）化（huà）硫研製企業。三氟化氮主要應用於（yú）半導體工業的氣體清洗劑， 液晶顯示行業的蝕刻劑和太陽能電池製造業的蝕刻和清洗氣體（tǐ）。公司與京（jīng）東方（fāng）等下遊領 先企（qǐ）業建立了穩固合作關係，是國內領先（xiān）三氟化氮（dàn）供應商。此外，公（gōng）司自主研發生產的 硒化（huà）氫和（hé）綠色四氧化二氮（dàn）等（děng），已成功實現進口替代，在細分軍（jun1）品領域內，具有領先優（yōu）勢。 光明（míng）院是是我國重要的特種氣（qì）體研究、生產基地，承擔過多項（xiàng）國家各類科技項目。主要 產品包括綠色四氧化二（èr）氮、高純硒化氫、高純硫化氫、二氧化碳-環氧（yǎng）乙烷混合氣、標 準混合氣體。光明院曾為中國（guó）載人航天工程協（xié）作配套工作、“嫦娥工程”等項目做出貢 獻，在國防化工新材料（liào）、半導體集成電路、氣體分析具有行業領先優勢。

重組後公司業績保持增長。2018 年為公司重大資產重（chóng）組之年，公司全年營業收入 達到 41.82 億元，營收的大幅增長來源於中昊晨光化工研究院（yuàn）等 11 家公司（sī）並入報表， 同口徑下營業收入較 2017 年度增長 14.7%。2019 年公司實現營業（yè）收（shōu）入 47.01 億元，同 比增長 10.55%；歸母淨利潤 5.25 億元，同比下降 0.75%。公司（sī）營收結構（gòu）中，氟材料、 精（jīng）細化學（xué）品和特種橡膠產品三者合（hé）計占（zhàn）營收（shōu）比例超（chāo）過（guò） 90%，特種氣體占營收比例不斷提（tí） 升（shēng），由 2018 年（nián）占比 7.75%提升至 2019 年 8.91%。

金宏氣體：國內氣體行業民營龍頭

華東地區重要的特（tè）種氣體和大宗氣體供應商。公司（sī）成立於 1999 年，2014 年在新三 板上市，2020 年（nián）公司終（zhōng）止新三板掛牌，在科創板上市（shì）。公司是一家專業從事氣體研發（fā）、 生產、銷售和服務的環保集約型綜合氣體供應商。公司目前（qián）已初（chū）步建立品類完備、布局 合理、配送可靠的氣體供應（yīng）和服（fú）務網絡，能夠為電子半導體（tǐ）、醫療健康、節能（néng）環保、新 材料、新能源、高端裝備製造等行業客戶（hù）提（tí）供特種氣體、大宗氣體和（hé）51吃瓜网三大類 100 多個氣（qì）體品種。根據中國工業氣體（tǐ）工（gōng）業（yè）協會的統計，2017-2018 年公司銷售額連續（xù）兩年 在協會的（de）民營氣體行業企業統計中名列第一。

研發能力突出，擁有優（yōu）質客戶資（zī）源。公司目前擁有 150 項專利，其中發明專利 32 項，主導（dǎo）或參與製定多項國家標準（zhǔn），擁（yōng）有氣體行（háng）業中唯一專注於電子氣體研發的國家企 業技術中心、CNAS 實驗室，多次承擔（dān）國家科技部火炬項目。公司與國內電（diàn）子半導體（tǐ）領 域的眾多知名企業建立了合作關係，例如集成電路行（háng）業的聯芯集成、華潤微電子、華（huá）力 微電（diàn）子、矽品科技、士蘭微等，液晶麵板行業的京東方、三星電子等，LED 行業的三（sān）安 光電、聚燦（càn）光電（diàn）、乾照光（guāng）電、華燦光電等，光纖通信行業的亨通光電、富通集團、住友（yǒu） 電工，光伏行業的通威太陽能、天合（hé）光能（néng）、隆基股份等。

與（yǔ）外資企業錯位競爭。公司目前的供氣模式以零售供氣為（wéi）主，中小型現場製氣為輔， 氣體品種較全，超純氨、高純氧（yǎng）化亞氮等（děng）特種氣體（tǐ）品質已達到進口替代水（shuǐ）平。相比於外 資氣體企業以大型現（xiàn）場製氣為（wéi）主的供氣方式，公司（sī）銷售的瓶裝氣、儲槽氣可較好地（dì）滿足 廣大中小型企業的用氣（qì）需求，從（cóng）而（ér）在細分市場與外資企業形成錯位競爭優勢。

募投項目提升公司競爭力。公司（sī）向社會公眾公開發行不超過 12108.34 萬股（gǔ）人民幣 普通股，募集資金（jīn）用於投資“張（zhāng）家港金宏氣體有限（xiàn）公（gōng）司超大規模集成電路用高純氣體（tǐ）項 目”、“蘇州（zhōu）金宏氣體股份有限公司研發中心項目”、“年充裝 392.2 萬瓶工業氣體項（xiàng）目（mù）”、 “年充裝 125 萬瓶工業氣體項目”、“智能化運營項目”和“發展與（yǔ）科技儲備（bèi）資金”六個 項目。募投項目（mù）建成後，公（gōng）司的工業氣（qì）體充裝產能和研發生產能力將大大提高，智能（néng）化和安全性水平也將得到提升，有助於公司搶占市場先（xiān）機（jī），同時能夠（gòu）在（zài）一定程度上提升公 司市場占有率。

和遠氣體（tǐ）：華中知名民營專業氣體企業

華中地區知名民（mín）營專（zhuān）業氣體企業。公司致力於各類氣體產品（pǐn）的（de）研發、生（shēng）產、銷售、 服務以及工業尾氣（qì）回收循環利用，公司（sī）經營的主要氣體可大（dà）致分為三（sān）類：普通氣體、特 種氣體以及清潔能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家（jiā）電、鋼鐵、機械、農業等基（jī） 礎行業（yè）和光伏、通信、電子、醫療（liáo）等新興產業對氣體和清潔能源的需求。目（mù）前，公司銷（xiāo） 售服務（wù）網絡覆蓋湖北全境並（bìng）輻（fú）射（shè）華中地區，是華中地區知名的綠色環保型綜合氣體專業 供應商（shāng）。

差異化技術路線打造公司獨特競（jìng）爭力。公司除了以空（kōng）分氣（qì）體的生產與（yǔ）銷售為業務核 心體係外，率先將氣體分離技術應用於以工業尾氣回收（shōu）循環再利用為核心的環保產業， 並成功實施了“興發集團離子膜燒堿尾氫回收提純”、“三寧合成氨馳放（fàng）氣尾氣回收（shōu）”、 “烽火科技尾氦提純循（xún）環利用（yòng）”、“新疆晶科單晶矽氬（yà）氣尾氣回收循環再利用項目”等一 係列項目。為客戶低成本（běn）、有效的解決了危廢處理，形成資源的循環（huán）再利用，同時為公 司在工業尾氣回收領域建立起（qǐ）良好的品牌效應，拓展了市場空間，在市場上形成了有別 於其他氣體公司的獨特競（jìng）爭力（lì）。

擁有優（yōu）質客戶資源。公司經過多年的發展，在華（huá）中地區各個行業積聚了（le）一批優質的 客戶。其中工業（yè）氣體客戶（hù）包括興發集團、烽火通信、格（gé）力電器、美的集（jí）團、晶科能源、 武鋼（gāng）氣體、三寧化工等上市公司和國內知名企業；食品級液氮客戶包括頂津食品、紅牛 飲品、百事食品、伊利乳（rǔ）業、匯（huì）源果汁、銀鷺集團等多家（jiā）知名食品企業；醫用氧客戶包 括武漢兒童醫院、宜昌市中心醫院（yuàn）等大（dà）型醫療機構。與這些優質客戶長期互信的（de）合作， 使公司形成良好的品牌效應，從而不斷的提升市場占（zhàn）有率，持續（xù）保（bǎo）持區域行業內的領先 地位。

業績持（chí）續（xù）增長（zhǎng）。公司營業收入（rù）保（bǎo）持穩定增長，2019 年公司營業收入為 6.66 億元，同比上升 6.57%，歸母淨利潤為 0.85 億元，同比上升 12.17%，其中，公司營收主要貢 獻來源為普通氣體，占比超過 65%。特種氣體占主營業務收（shōu）入比例不斷提升，占比由 2016 年 6.55%上升至 2019 年 7.82%，2019 年特氣營業收入為 5208.91 萬元。

雅克科技：半導體（tǐ）新材料龍頭企業

半導體新材料龍（lóng）頭企業（yè）。江蘇雅克科技股份（fèn）有限公司成立於 1997 年（nián），2010 年 5 月 於深交所（suǒ）上市（shì）。公司以阻燃（rán）劑業務為基礎，2018 年，公司通過外延並購，成功切入半 導體封裝材料領域、電子特氣領域、IC 材料（liào）等領域，逐步發展成為以新型複合材料和 半導體材料為發展核心的綜合型企業。目前，公司從事的主要業務包括有（yǒu）機磷係阻燃劑 業務、LNG 用保溫（wēn）絕熱板材業務、矽微粉業（yè）務、半導體（tǐ）化學材料業（yè）務以及電（diàn）子特氣業（yè）務，產品（pǐn）可應用於家（jiā）居建材、交通工（gōng）具、電子元器件、液化（huà）51吃瓜网儲運（yùn）設備、集成電路封裝、 半導體設備等方麵（miàn）。

科美特（tè）為（wéi）國內含（hán）氟電子特氣龍頭。雅克科技電子特種氣體主要通過子公司科美特運 營，公司於 2018 年收購（gòu）並表。科美特成（chéng）立於 2006 年 1 月 23 日，專注於（yú）含氟類（lèi）特種氣 體（tǐ）的（de）研發（fā）、生產、提純與銷（xiāo）售（shòu）。目前（qián）具備六氟化硫（liú）產能（néng） 8500 噸/年和電子級四氟化碳 1200 噸/年。科美特在高純度工業（yè）六氟化硫和電子級四氟化碳的（de）研究方麵處於國內領先 的地（dì）位，已（yǐ）與國內外知名的輸配電（diàn）及控製（zhì）設備企業建立（lì）了長期穩定的合作關係，主要客（kè） 戶（hù）包括西電集（jí）團、平（píng）高集團、山東泰開、新東北、思源電氣、ABB 等。同（tóng）時通過（guò）林德氣 體、綠菱氣體、WONIKSMATERIALS 等氣（qì）體商大量出口至（zhì）中國台灣、韓國（guó）、美洲以及歐（ōu）盟等世 界各（gè）地。

電子特氣業務快（kuài）速發展。公司業績整體呈現增長狀態，2019 年營業收（shōu）入為 18.32 億元，同比增長 18.42%，歸母淨利潤為 2.93 億元，同比增長 120.20%。自並表以來， 公司電子特氣業務（wù）保持快速發展（zhǎn），2018 年-2019 年，公司電子特氣業務營收分別為 2.57 億元和 3.95 億（yì）元，占公司營（yíng）業收入比例分（fèn）別為 16.6%和 21.57%，毛（máo）利率水平分別為（wéi） 44.35%和 50.89%。

南大光電：國內（nèi）電子材料行業領軍企業

積極布（bù）局多維業務。江蘇南大（dà）光電（diàn）材料股（gǔ）份有限公司成立於 2000 年，2012 年在創 業板上（shàng）市，公司成（chéng）立初期主營業務為（wéi）主（zhǔ）要業務高純金屬有機化合（hé）物(MO 源)的研發、生 產和銷售（shòu），是全球 MO 源領（lǐng）導供應商之一。公司積極拓展新的（de）領域，通過設立子公司全 椒南大光電材料有限公司，進入了特種氣體領域，其中砷烷、磷烷已經成功量（liàng）產並供應 多家客戶，公司正在推進光刻膠（jiāo）及配（pèi）套材（cái）料業務和 ALD 前驅（qū）體產品（pǐn）業務。在長期的發展 過程中，公（gōng）司形成了（le）較為完備的研發設計體係，積累了一定的研究成果，通過逐年加（jiā）大 科研力度，技（jì）術（shù）實力得到（dào）不斷增強，獲得多項專利。

收購飛（fēi）源氣體，拓展（zhǎn）公司電子特氣發展空間。2019 年，公司收購山東（dōng）飛源氣體有限 公司 57.97%股權，飛源氣體是國內 NF3 重要供應商中唯一民（mín）企，主要從事三氟化氮、 六氟化硫及其副產品的生產及銷售（shòu），是台（tái）積電、中芯國際、京東方等一線大廠的主要供 應商。本次收購對南大光電電子特種氣體業（yè）務的發展具有重（chóng）要的戰略價值，有助於發揮 南大光電和山東飛源氣體市場互補優勢，實現協同營銷，擴大（dà）電子特氣在（zài） LCD、IC 領（lǐng）域 的（de）交叉滲透。

業績穩健增長，電子特氣表現亮眼。公司業績保持穩健增長，2019 年公司營業（yè）收 入為 3.21 億元，同比增長 40.85%，歸母淨利潤為 0.44 億元，同比增長 7.36%，布局的 電子氣體（tǐ）業務（wù）逐漸成長為支撐公司高速發展的新動力，電子特氣業務占營（yíng）收比例不斷提（tí） 高，2019 年電子（zǐ）特氣業務營收為 1.64 億元，同比增長 108.81%，占營收比例為 50.91%， 成為公司（sī）新（xīn）的盈利增長點。

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（報告觀點屬於原作者，僅（jǐn）供參考。報告來源：中泰證券）

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