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特(tè)種氣體(tǐ)的應用

來源:蓋斯帕克氣體技術 更(gèng)新:2020-01-08 19:51:39 作者: 瀏覽:2477次

電子工業是當今(jīn)推動科技發展的高新技術產業,由於所用(yòng)氣體的品種多、質量要求高,為有別於其它領(lǐng)域應用的(de)氣體,人們把這類在電子工業中用的(de)氣(qì)體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的(de)高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。

電子行業(yè)常(cháng)用的特氣超過三十餘種,按危險性質可分(fèn)為(wéi)不(bú)燃氣體、可燃氣體、氧化(huà)性(xìng)氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物(wù)理形態可分為壓縮氣(qì)體、液化氣體和低溫氣體。

 

特種氣(qì)體的應用領域主要在集成電路製造、太陽能電(diàn)池、化合物半導體(tǐ)、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其(qí)中主要應用於半導體集成電路的生產(chǎn)製造。在半導體工業中應用的有110餘種單(dān)元特(tè)種氣體,其中(zhōng)常用的有20~30種。

 

在(zài)集成(chéng)電(diàn)路製造應用方麵具體包括集成電路芯(xīn)片製程、化學氣相沉積和氣體應用(yòng)、刻(kè)蝕和氣體(tǐ)應用、摻(chān)雜和氣體應(yīng)用;

 

在太陽能電池應用方麵具體包括太陽能電池的應用、晶體矽(guī)太陽能電池生產工藝和氣體應用(yòng)、薄膜太陽能電池生產工藝和氣體應(yīng)用;在化(huà)合物(wù)半(bàn)導體應用方麵具體包括化合物半導體的應(yīng)用(yòng)、MOCVD/LED生產工藝和氣(qì)體應用;在(zài)液晶顯示(shì)器應用(yòng)方麵具體包括(kuò)TFT/LCD的(de)應用、TFT/LCD生產工藝和(hé)氣體應用;在光纖應用方麵具體包括光纖應用和(hé)光纖預製棒的生產工藝和氣(qì)體應用(yòng)。

 

二、一般混合氣體

 

由兩種以上氣體混合配製而成的氣體,而且主要標出(chū)大(dà)致(zhì)濃度,即可滿足使(shǐ)用要求,這種氣體稱為一般(bān)混合氣體。

 

對氣體分析儀用氣體,如含(hán)氫10%,其(qí)餘是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%,其餘是氬的混合氣,被用作氣相色譜儀(yí)的載氣(qì);含氫40%,其餘是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴(tīng)檢測儀的燃料氣。另外,含氧20%~60%,其餘是氬的混合氣被用(yòng)來發生化(huà)學熒光分析儀用的臭氧(yǎng)。

 

在(zài)測定放射性物質時,使用的混合(hé)氣(qì)有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含(hán)丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲(jiǎ)烷5%~10%,均以氦為底氣(qì)。

 

各種混合氣也常被用作照明燈具的充(chōng)填(tián)氣和數字顯示管等(děng)的(de)充填氣,這類氣體大多是用下(xià)列兩種以上氣體混合而成的:氬、氖、氦、氪、氮。鹵光源生產則用溴甲烷、氯甲烷、溴化(huà)氫、碘甲烷、氯仿等氣體與氬的(de)混合氣。

 

深(shēn)海呼吸(xī)用含氧20%~60%,其餘是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其餘是氦。

 

金屬熱處理(lǐ)保護(hù)氣可用含氫0.5%~10%,其(qí)餘為氬的混合氣或二氧(yǎng)化(huà)碳(tàn)10%~40%、20%~60%,其餘為氮氬的混合氣。

 

光(guāng)化學反應、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關係到公(gōng)害問題,所以(yǐ)其中二氧化氮、二氧化(huà)硫和硫(liú)化氫等都要保持低濃度(dù)。

 

三、標準氣體

 

所(suǒ)謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知(zhī)樣品氣標準值的氣體。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫療儀器用標準氣體、可燃(rán)性氣體泄漏用(yòng)標準氣體(tǐ)、燃燒器尾氣用標準(zhǔn)氣體六大類(lèi)。

 

由於使(shǐ)用了標準(zhǔn)氣(qì),所以即使在不同場所測定,也具(jù)有相同測定值。

標準氣體應用範圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、軍(jun1)工玻璃、陶瓷、醫藥醫療、汽車、光纖、激光、潛水、環保、切割、焊接、食品加工(gōng)等工(gōng)業部門均使用大量的(de)常用氣體和(hé)特(tè)種氣體。其中(zhōng)在(zài)石(shí)油化工領域對標準氣體(tǐ)的需求量相對較大。

 

當前氣體行業競爭激烈,由於特種氣體行業要求氣體品種多、質量高,而氣體產品(pǐn)屬於高技術、高附加值產品,所以競爭與空分行業相比相對較少,但(dàn)多數單位的人(rén)員素質(zhì)高、技(jì)術(shù)實力強。

 

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