電子氣體（tǐ）需（xū）求量大漲 期待本土配套全（quán）方位（wèi）服務

電子氣體成本約占IC材料總成本6%。

半導體製造過程（chéng）中刻蝕、清洗、外延生長、離（lí）子注入、摻雜、氣相沉積、擴散等要使用（yòng）大量的電子氣體，其成本占（zhàn）IC材（cái）料總成本的6%左右，且電子氣體的純度對芯片質（zhì）量影響很大。隨（suí）著集成電路製程節點不斷縮小（已經走到10/7納米），對電子氣體的顆粒度和（hé）雜質含量的要求也越來越高。因此，集成電路技術快速發展，對電（diàn）子氣體的品種、數量（liàng）、質量、安全性以及穩定性（xìng）等方（fāng）麵（miàn）均提出了更（gèng）高的要求（qiú）。

據了解，目前，國際上電子氣體產（chǎn）業（yè）已經（jīng）處於非常成熟的時（shí）期，全球半導體用電子氣體市場呈現出寡頭競爭的格局，美國空氣化工，法國液化空氣、普萊克斯，德國林德，日本（běn）大陽日（rì）酸（suān）之（zhī）和占比94%以上（shàng）。

國內的半導體用電子氣體市場也主要被國外（wài）廠（chǎng）商占據，其中空氣化工、普萊克斯（sī）、昭和電工、英國BOC、液化空氣和日本（běn）大陽日酸6家公司合計市場占有率高達（dá）85%。中船重工718所副所長王（wáng）少波在接受《中（zhōng）國電子報》記者采訪（fǎng）時表示，半導體用電子氣體國產化將大幅降低（dī）中國芯片製造商的製造成（chéng）本，提高中國芯片製造業（yè）的（de）競爭力。但由於存在很高的進入門檻，目前電（diàn）子氣體（tǐ）的國產化率較低。“半導體製程過程中用到的83種電子氣體，其中有35%已經實現國產化，還有（yǒu）35%正在國產化，30%還未進行國產化。半導體產業用的7種大宗氣體仍被國外公司壟斷，但中船重工718所已立項完成技術研（yán）發和係統集成，在德淮半導體公司成功應用，未來將大力開拓市場，實現國產化。”王少波說。

可喜的是，近幾年（nián），國內電子（zǐ）氣體產業已（yǐ）經起步並（bìng）開始步入快速成長期，出現了中國船舶重工集團公司第七一八研究所、江（jiāng）蘇南（nán）大光電材料股份（fèn）有限（xiàn）公司、黎明化工研究設計院有限責任公司、佛山市華特氣體有限公司、綠菱氣體（tǐ）（天津（jīn））有限公司、大連保稅區科利德化工科技有限公司、蘇州金宏氣體股份有（yǒu）限公司等一大批（pī）電子氣體生產企業，在高純六氟化鎢、三（sān）氟化氮、氨氣、磷烷、砷烷等領域已經取得了突（tū）破。

電子氣體難全麵進入IC領（lǐng）域的（de）三大原因

電子氣體生產的瓶頸很多，從原（yuán）材料純度開始，到合成工（gōng）藝、對溫度和壓力的控製，再到提純方法和分析方法，以及產品充裝過程（chéng）中對雜質的控製，每個環節都會影響整個產品的質量。

從技術層麵來看，國（guó）內企業已經基本具備了生產高純電子氣體的能力，但是國內電子（zǐ）氣體（tǐ）的生產商還不能全麵進入集成電路等領域。江蘇南（nán）大光電材料股份有限公司（sī）副總裁許從應博士向《中國電子報》記者分析了三點原因。

第一，本（běn）土電子氣體的生產和供應商規模較小，不能為用戶提供全方位的服（fú）務。和國際巨頭公司相比，國內的供應商總體來說體量較小（xiǎo），目前大多通（tōng）過低價競爭的方式占領一點市場份額，從而導（dǎo）致價格快速下滑，利（lì）潤很薄，甚至“賠本賺吆喝”。國內電子氣體企業缺少提升創新能力的資金，以及為用戶提供全方位服務的資源。

第二，質量穩（wěn）定性（xìng）問題。電子氣體，特別是高純電子氣體是影響電（diàn）子器（qì）件可（kě）靠性和成品率的（de）重要因素。隨著電子（zǐ）信息技術的飛（fēi）速發展，對電子（zǐ）氣體的（de）純度要求也越（yuè）來越高，經常（cháng）需要（yào）6N級（99.9999％）甚至更（gèng）高的純度，並且對電子氣體質量的穩定性要求（qiú）也越來越（yuè）苛刻。“舉一個例子，如果一種電子氣體產品，在集成電（diàn）路製造工藝中通過驗證，這樣的純度（dù）和質量要求就被（bèi）鎖定（dìng）了（le）。芯片製造商不希望看（kàn）到產品的（de）質量有任（rèn）何變化，即使是純度的進一步提（tí）高也可能產生意想不到的問題（tí）。所以電子材料生產過程的（de）任（rèn）何（hé）改變，包括更換原料供應商、生（shēng）產工藝的變動等，都必須及（jí）時通知芯片製造商，他們會根據情況決定是否重新進（jìn）行驗證。由（yóu）於國內（nèi）企業生（shēng）產（chǎn）的電子氣體發生過多次質量事（shì）故，因此，影響了芯（xīn）片製造（zào）商對本土電子產品的信任度。”許從應對記者說。

第三，國（guó）內電子氣體產品的包裝、儲運未能和現代電子工業的要求（qiú）接軌。為了節省成本，很多企業在包裝、儲運等方麵降低了要求，為（wéi）此出現過種種問題。

電子氣體需求量大本土化呼聲日益增高

目前，世界（jiè）半導體工業中心正（zhèng）呈現向中國快速轉移的趨勢，因此中國對電子氣體的需求也呈現大幅增長態勢。中國高速發展的半導體產業要求關鍵的電子氣體要盡快實現本土化，並保證穩定的供（gòng）應。

“特別是一（yī）些（xiē）依賴進口（kǒu）的品種，如激光氣等，必須盡快實（shí）現進（jìn）口替代，以保障我國半導（dǎo）體產業的健康發展。”許（xǔ）從應向《中（zhōng）國電子（zǐ）報》記者表示，“電子氣體多為易燃、易爆、劇毒，屬於控製（zhì）範疇，進口非（fēi）常麻煩，運輸周期較長，這嚴（yán）重製約國（guó）內光電子、微電子產業（yè）的健康穩定發（fā）展。另外，電子氣體作為核心關鍵原材料，廣泛（fàn）地應用在國防（fáng）軍工（gōng）領域，因此，歐美（měi）等發達（dá）國家和地（dì）區將一些高純電子氣體列為敏感戰略物資，對中國實行技術封鎖（suǒ），實（shí）施（shī）禁運，嚴重地影響了國防、軍工（gōng）、航空、航天事業的（de）發展。”

為了促進國內電子氣體產業（yè）的創新和產業化能力，國家在（zài）2013年啟動了“高純電子氣體研發與（yǔ）產業化”項目，開發（fā）IC製造用關鍵高純電（diàn）子氣體，提高本土電子（zǐ）氣體的市場自給率。中國船舶重工（gōng）集團公司第（dì）七一八研究（jiū）所和江蘇南大（dà）光電（diàn）材料股份有限（xiàn）公司等六家單位共同承擔了該項目，研發和產業化（huà）包括三（sān）氟化氮、六（liù）氟化鎢、高純磷烷、高（gāo）純砷烷等幾十種電子氣體（tǐ）產品。

但（dàn）要真正實現電子氣體的大規模本土化，擺脫對進口材料的依賴，依然任重道遠（yuǎn）。許從應（yīng）認（rèn）為，電子氣體（tǐ）企（qǐ）業必須在尊重市場經濟規律的前提下（xià）實現兼並重組，減少惡（è）性競爭和重複投資的浪費，優化資源的使用，提升（shēng）企業的創新能力。企業（yè）還要更新理念，引進6西格瑪等先進的質量管理體係（xì），配備了解（jiě）IC製造等電子工業工藝製程的應用工程師，提供配套支持和全方位的服務。他還（hái）建議（yì），國（guó）家（jiā）應該在資金投放和稅收政策等（děng）方麵，積極引導兼並重組，幫助強的企業變得更大更強，讓弱的企業、管理能力差的企業融入強的企業或自然地退出市場。此外，通過政策激勵，充分引導社會上的資金參（cān）與電子氣體產業建設，幫助企業做（zuò）大（dà）做強。“相信中國一定能夠在5到10年內形（xíng）成一到兩個大型的、專業全麵提供配套產品和全方位服務的、國內國際知名（míng）品牌的電（diàn）子氣體（tǐ）材料企業。”許從應最後說。

任何一種電子氣體要打入半（bàn）導體製造領域，至少要麵對三個難關：驗證氣體（tǐ）的性能、量產實績以及客戶端的認可程度。王少（shǎo）波告訴《中國電子報》記者，目（mù）前（qián）在電子氣體國產化進程中，通過客（kè）戶的測（cè）試驗證、取得（dé）客戶的認可還存在一定的（de）困難。因此，他認為，發展國內電子氣體產業，需（xū）要國（guó）家落實（shí）和完善對該類企（qǐ）業的財稅（shuì）、資金等優惠（huì）政策支持，加（jiā）大財政資金、大基金和金融部門（mén）的扶（fú）持力度，引（yǐn）導集（jí）成電路廠家使用國產電子氣體，從而幫助企（qǐ）業把握發展機遇，加快（kuài）企業技術進步和做大做強。從企業的角度看，應努力提升技術創新和管理水平，加大對電子氣體共性、基礎（chǔ）、關（guān）鍵技術的係統研發力度，提高品質意識、管理理念和安全管理水平，用連續、穩定的產品和良好的服務贏得客戶的信任（rèn）。