2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發展現狀吧（ba）！

內容（róng）提要

文章來（lái）源:紐瑞（ruì）德

隨著近年來國防（fáng）工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別（bié）是微電子（zǐ）技術的發展，特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中（zhōng）的一個新興門類，從應用領域劃分，主要有電（diàn）子氣體、高純氣體（tǐ）、標準氣體三大類。

近年來，隨著下遊應用領域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據不完全統計，我國已有的特種氣體達260餘種。

隨著非低溫氣體分離技術（吸附、膜分離）、混配（pèi）技術和提（tí）純技術的發展，更多的特種氣體產品將逐步走向市場。

電（diàn）子氣體主要分為氫化物（超純氫、矽烷、磷烷等），氟化（huà）物（六氟化硫（liú）、三氟化氮、四氟（fú）化矽等（děng）），碳氟（fú）化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目（mù）前，我國電子氣體品種基本齊全，但（dàn）數量和質量與發達國家相比，尚有較大差距。隨著半導體（tǐ）和微電子工業的迅猛發展，對電子氣體的（de）品種（zhǒng）、數量、質量（liàng）及純度提出（chū）了更高的要求。

標準氣（qì）體又分為單標氣體和多元標準氣體。目前，標準氣體基本滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校準等諸多領域的應用。但對活性較強的標準氣，國內尚無（wú）法徹底解決量產的問題，如氯標氣、氯化氫（qīng）標氣等（děng）。

高純（chún）氣體即為大家熟知的氧氣、氮氣、氫氣、氦氣、氬（yà）氣等（純度通常都是大於（yú）99.999%的）。高純（chún）氣體大多用於超大規模的集成電路及（jí）分離器件、光（guāng）電子等高科技領域。當前國內公司主要靠精餾分離製備高純氣體，國外公示在製備某些高純氣（qì）體時采用吸附劑淨化的方法，實現了常（cháng）壓淨化和（hé）高壓提純充瓶。國內（nèi）技術在這方麵（miàn）進來雖有（yǒu）所突（tū）破，但提（tí）純技術（shù）還有待提高。